> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Artikel Titel: Gas-Assisted Focused Ion Beam Etching of Indium–Tin Oxide Film Beteiligte: Lee, Ming-Kwei; Kuo, Kwei-Kuan Erschienen: IOP Publishing, 2008 Erschienen in: Japanese Journal of Applied Physics, 47 (2008) 1R, Seite 347 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1143/jjap.47.347 ISSN: 0021-4922; 1347-4065 Schlagwörter: General Physics and Astronomy ; General Engineering Entstehung: Anmerkungen: