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Medientyp: E-Artikel Titel: Full Custom MEMS Design: 2.5D Fabrication-Process Simulation for 3D Field-Solver-Based Circuit Extraction Beteiligte: Hald, Axel; Marquardt, Hartmut; Herzogenrath, Pekka; Scheible, Jurgen; Lienig, Jens; Seelhorst, Johannes Erschienen: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2019 Erschienen in: IEEE Sensors Journal Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1109/jsen.2019.2906060 ISSN: 1530-437X; 1558-1748; 2379-9153 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Instrumentation Entstehung: Anmerkungen: