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Medientyp: E-Artikel Titel: Design and Test of a High-Sensitivity MEMS Capacitive Resonator for Photoacoustic Gas Detection Beteiligte: Yin, Yonggang; Ren, Danyang; Wang, Yuqi; Gao, Da; Shi, Junhui Erschienen: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2024 Erschienen in: IEEE Sensors Journal Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1109/jsen.2024.3366520 ISSN: 1558-1748; 2379-9153; 1530-437X Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Instrumentation Entstehung: Anmerkungen: