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Medientyp: E-Artikel Titel: Oxidation resistance and microstructure of ruthenium-capped extreme ultraviolet lithography multilayers Beteiligte: Bajt, Saša Erschienen: SPIE-Intl Soc Optical Eng, 2006 Erschienen in: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS Sprache: Englisch DOI: 10.1117/1.2201027 ISSN: 1932-5150 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Mechanical Engineering ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: