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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: ArF resist for contact hole application Beteiligte: Chen, K. Rex; Lawson, Margaret C.; Hughes, Timothy; Brunsvold, William R.; Varanasi, Pushkara R.; Keller, Robin; Jordhamo, George M. Erschienen: SPIE, 2001 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.436910 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: