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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Processing multilayer systems using femtosecond, picosecond, and nanosecond laser pulses at different wavelengths Beteiligte: Ashkenasi, David; Rosenfeld, Arkadi Erschienen: SPIE, 2002 Erschienen in: Photon Processing in Microelectronics and Photonics Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.470619 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: