• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Dissolution behavior of bis-trifluoromethyl-carbinol-substituted polynorbornenes
  • Beteiligte: Hoskins, Trevor; Chung, Won Jae; Ludovice, Peter J.; Henderson, Clifford L.; Seger, Larry; Rhodes, Larry F.; Shick, Robert A.
  • Erschienen: SPIE, 2003
  • Erschienen in: Advances in Resist Technology and Processing XX
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.485145
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: