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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Dissolution behavior of bis-trifluoromethyl-carbinol-substituted polynorbornenes Beteiligte: Hoskins, Trevor; Chung, Won Jae; Ludovice, Peter J.; Henderson, Clifford L.; Seger, Larry; Rhodes, Larry F.; Shick, Robert A. Erschienen: SPIE, 2003 Erschienen in: Advances in Resist Technology and Processing XX Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.485145 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: