• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Contactless laser bending of silicon microstructures
  • Beteiligte: Exner, Horst; Loschner, Udo
  • Erschienen: SPIE, 2003
  • Erschienen in: SPIE Proceedings (2003)
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.498961
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift:
  • Anmerkungen: