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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Characterization of a 100-nm 1D pitch standard by metrological SEM and SFM Beteiligte: Haessler-Grohne, Wolfgang; Dziomba, Thorsten; Frase, Carl G.; Bosse, Harald; Prochazka, Jerry Erschienen: SPIE, 2004 Erschienen in: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.536285 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: