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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: FEM calculations on laser bending of silicon with a moving laser source Beteiligte: Loeschner, Udo; Exner, Horst Erschienen: SPIE, 2004 Erschienen in: SPIE Proceedings (2004) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.544814 ISSN: 0277-786X Entstehung: Hochschulschrift: Anmerkungen: