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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Packaging and characterization of micro-opto-electro-mechanical systems Beteiligte: Saupe, Ray; Otto, Thomas; Stock, Volker; Fritzsch, Uwe; Gessner, Thomas Erschienen: SPIE, 2004 Erschienen in: SPIE Proceedings (2004) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.558489 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: