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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Assist feature placement analysis using focus sensitivity models Beteiligte: Melvin III, Lawrence S.; Mayhew, Jeffrey P.; Painter, Benjamin D.; Barnes, Levi D. Erschienen: SPIE, 2006 Erschienen in: 22nd European Mask and Lithography Conference Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.692745 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: