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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Direct structuring of solids by EUV radiation from a table-top laser produced plasma source Beteiligte: Barkusky, Frank; Bayer, Armin; Peth, Christian; Mann, Klaus Erschienen: SPIE, 2009 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.822243 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: