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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: The Iris AO S163-X, a 489 actuator, 163-piston/tip/tilt-segment MEMS DM Beteiligte: Helmbrecht, Michael A.; He, Min; Kempf, Carl J.; Rhodes, Patrick Erschienen: SPIE, 2009 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.828384 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: