> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Feasibility study of optical/e-beam complementary lithography Beteiligte: Hohle, Christoph; Choi, Kang-Hoon; Freitag, Martin; Gutsch, Manuela; Jaschinsky, Philipp; Kahlenberg, Frank; Klein, Christof; Klikovits, Jan; Paul, Jan; Rudolph, Matthias; Thrun, Xaver Erschienen: SPIE, 2012 Erschienen in: Alternative Lithographic Technologies IV (2012) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.916386 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: