• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Feasibility study of optical/e-beam complementary lithography
  • Beteiligte: Hohle, Christoph; Choi, Kang-Hoon; Freitag, Martin; Gutsch, Manuela; Jaschinsky, Philipp; Kahlenberg, Frank; Klein, Christof; Klikovits, Jan; Paul, Jan; Rudolph, Matthias; Thrun, Xaver
  • Erschienen: SPIE, 2012
  • Erschienen in: Alternative Lithographic Technologies IV (2012)
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.916386
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: