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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Two-dimensional array of AR-coated diffractive microlenses fabricated by thin-film deposition Beteiligte: Pawlowski, Edgar; Engel, Herbert; Ferstl, Margit; Fuerst, Walther; Kuhlow, Berndt Erschienen: SPIE, 1993 Erschienen in: Miniature and Micro-Optics: Fabrication and System Applications II Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.138880 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: