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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Multilevel micro-structuring of glassy carbon for precision glass molding of diffractive optical elements Beteiligte: Prater, Karin; Dukwen, Julia; Scharf, Toralf; Herzig, Hans Peter; Plöger, Sven; Hermerschmidt, Andreas Erschienen: SPIE, 2015 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.2080762 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: