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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Combined TMAH and HF sacrificial layer etching technique for surface micromachined devices Beteiligte: Lisec, Thomas; Kreutzer, Martin; Wenk, Beatrice; Wagner, Bernd Erschienen: SPIE, 1995 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.221285 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: