• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Radio frequency and microwave plasma for optical thin-film deposition
  • Beteiligte: Otto, Juergen; Paquet, Volker; Kersten, Ralf T.; Etzkorn, Heinz-Werner; Brusasco, Raymond M.; Britten, Jerald A.; Campbell, Jack H.; Thorsness, J. B.
  • Erschienen: SPIE, 1990
  • Erschienen in: SPIE Proceedings
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.22371
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: