Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp:
Elektronischer Konferenzbericht
Titel:
Radio frequency and microwave plasma for optical thin-film deposition
Beteiligte:
Otto, Juergen;
Paquet, Volker;
Kersten, Ralf T.;
Etzkorn, Heinz-Werner;
Brusasco, Raymond M.;
Britten, Jerald A.;
Campbell, Jack H.;
Thorsness, J. B.