> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Artikel Titel: Surface Damage Induced by Reactive Ion Etching in n- Type Silicon Beteiligte: Poggi, Antonella; Susi, E. Erschienen: Trans Tech Publications, Ltd., 1995 Erschienen in: Solid State Phenomena Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.4028/www.scientific.net/ssp.47-48.383 ISSN: 1662-9779 Schlagwörter: Condensed Matter Physics ; General Materials Science ; Atomic and Molecular Physics, and Optics Entstehung: Anmerkungen: