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Medientyp: E-Artikel Titel: Characterization of HF Cleaning of Ion-Implanted Si Surfaces Beteiligte: Kondoh, E.; Baklanov, Mikhail R.; Maex, Karen Erschienen: Trans Tech Publications, Ltd., 1998 Erschienen in: Solid State Phenomena Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.4028/www.scientific.net/ssp.65-66.271 ISSN: 1662-9779 Schlagwörter: Condensed Matter Physics ; General Materials Science ; Atomic and Molecular Physics, and Optics Entstehung: Anmerkungen: