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Medientyp: E-Artikel Titel: Laser Direct Patterning of Organic Dielectric Passivation Layer for Fabricating Amorphous Silicon Thin-Film Transistors Beteiligte: Chen, Chao-Nan; Su, Kuo-Hui; Chen, Yeong-Chin Erschienen: IOP Publishing, 2011 Erschienen in: Japanese Journal of Applied Physics, 50 (2011) 6R, Seite 066501 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.7567/jjap.50.066501 ISSN: 0021-4922; 1347-4065 Schlagwörter: General Physics and Astronomy ; Physics and Astronomy (miscellaneous) ; General Engineering Entstehung: Anmerkungen: