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Berlin; Heidelberg: Springer, 2008
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Düsseldorf: VDI-Verlag, 1978
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Boston, Mass. [u.a]: Artech House, 2007
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2013
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Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2018
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[Neubiberg]: [Infineon Technologies AG], 16.06.2021
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Erfurt: Melexis GmbH, 30.03.2021
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[Dresden]: TU Dresden, 31.01.2021
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Ilmenau, 2010
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Ilmenau: Universitätsbibliothek Ilmenau, 2010
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[Neckartailfingen]: Glück Industrie-Elektronik, 05.07.2023
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[Erfurt]: X-Fab Global Services GmbH, 30.04.2021
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[Erfurt]: X-Fab MEMS Foundry GmbH, 30.04.2021
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Halle: Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS, [31.03.2021]
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[Jena]: Optics Balzers Jena GmbH, [2020?]
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[Reutlingen]: Bosch, [2022?]
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Krailling: [L-TRIS GmbH], [2021?]
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Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2014
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Chemnitz: Universitätsbibliothek Chemnitz; Chemnitz: Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz, 2014
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Eggenstein-Leopoldshafen: KIT Karlsruher Institut für Technologie, Institut für Mikrostrukturtechnik, [2021?]