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  1. Rai-Choudhury, P. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication

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    Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Pr., 19XX- ; London: Institution of Electrical Engineers, 19XX-

    Erschienen in: IEE materials and devices series ; .- SPIE Press monograph ; .

  2. Madou, Marc J. [VerfasserIn]

    Fundamentals of microfabrication

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    Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, 1997

  3. Nassar, Raja [HerausgeberIn]; Dai, Weizhong [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Modelling of microfabrication systems

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    Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2003

    Erschienen in: Microtechnology and MEMS- Physics and astronomy online library

  4. Heusinger, Martin [VerfasserIn] ; Zeitner, Uwe Detlef [AkademischeR BetreuerIn]; Erdmann, Andreas [AkademischeR BetreuerIn]; Czarske, Jürgen [AkademischeR BetreuerIn] Friedrich-Schiller-Universität Jena

    Untersuchungen zu deterministischem und stochastischem Streulicht in hocheffizienten binären Beugungsgittern

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    Jena, [2019?]

  5. Behrens, Arne [VerfasserIn] ; Sinzinger, Stefan [AkademischeR BetreuerIn]; Hentschel, Martina [AkademischeR BetreuerIn]; Strehle, Steffen [AkademischeR BetreuerIn] Technische Universität Ilmenau

    Plasma based 2.5D+ micro and nanostructuring for whispering gallery mode resonators

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    Ilmenau: Universitätsbibliothek, [2023?]

  6. Luitz, Manuel [VerfasserIn]; Lunzer, Markus [VerfasserIn]; Goralczyk, Andreas [VerfasserIn]; Mader, Markus [VerfasserIn]; Bhagwat, Sagar [VerfasserIn]; Warmbold, Andreas [VerfasserIn]; Helmer, Dorothea [VerfasserIn]; Kotz-Helmer, Frederik [VerfasserIn]; Rapp, Bastian E. [VerfasserIn]

    High resolution patterning of an organic–inorganic photoresin for the fabrication of platinum microstructures

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    Weinheim: Wiley-VCH, 2021

    Erschienen in: Advanced materials ; 33, 27 (2021), 2101992

  7. Richter, Claudia [VerfasserIn]

    Fertigungsmethoden zur Herstellung dreidimensionaler metallischer Mikrosysteme für Life-Science Anwendungen

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    Braunschweig: Universitätsbibliothek, 2019

    Erschienen in: Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 38

  8. Lauermann, Matthias [VerfasserIn]; Hauk, Alois [VerfasserIn] ; Vanguard Photonics GmbH

    Verbundprojekt: Printed freeform micro-optics for tailored photonic assemblies - PRIMA : Teilvorhaben des Projektpartners Vanguard Photonics GmbH: "Geräte- und Prozessentwicklung für die In-Situ-Fabrikation von maßgeschneiderten strahlformenden Elementen" : Schlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: von: 01.09.2017 bis: 28.02.2021 = Printed freeform micro-optics for tailored photonic assemblies - PRIMA : project part of Vanguard Photonics GmbH: „Hardware and process development for in-situ fabrication of tailored beam forming elements“

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    Karlsruhe: Vanguard Photonics GmbH, [2021?]