Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization - [2. ed.]

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Medientyp: Buch
Titel: Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization
Beteiligte: Madou, Marc J. [VerfasserIn]
Erschienen: Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, 2002
Ausgabe: 2. ed.
Umfang: 723 S.; Ill., graph. Darst; 29 cm
Sprache: Englisch
ISBN: 0849308267
RVK-Notation: ZN 4900 : Allgemeines
Schlagwörter: Lithografie > Mikrosystemtechnik > Mikromechanik > Entwurf > Konstruktion
Entstehung:
Anmerkungen: 3. Aufl. u.d.T.: Madou, Marc J.: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. - 3. Aufl. in 3 Bd
Literaturangaben