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  1. Hirsch, Alexander [VerfasserIn]

    In-situ RHEED-Untersuchungen des PLD-Wachstums von oxidischen Multilagen für die Entwicklung von Bauelementen

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    Berlin: Mensch-und-Buch-Verl., 2014

    Erschienen in: Institut für Elektrische Messtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik: Berichte aus dem Institut für Elektrische Messtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik ; 47

  2. May, Gary S. [VerfasserIn]; Sze, Simon M. [VerfasserIn]; Sze, S. M. [VerfasserIn]

    Fundamentals of semiconductor fabrication

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    New York; Chichester: Wiley, 2004