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  8. Both, Alexander B. [Verfasser:in]; Bacher, Walter [Verfasser:in]; Heckele, Mathias [Verfasser:in]; Ruprecht, Robert [Verfasser:in]

    Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung

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    Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2017]

    Erschienen in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5671

  9. Huber, Norbert [Verfasser:in]; Kerpe, S. [Verfasser:in]; Tsakmakis, Charalampos [Verfasser:in]

    Simulation eines Abformvorgangs

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    Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2018] ; 1994

    Erschienen in: Kernforschungszentrum Karlsruhe: Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 5418

  12. Müller, Claas [Verfasser:in]; Mohr, Jürgen [Verfasser:in]

    Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik

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    Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2017]

    Erschienen in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5609

  13. Wallrabe, Ulrike [Verfasser:in]; Bley, Peter [Verfasser:in]; Mohr, Jürgen [Verfasser:in]

    Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren - [Als Ms. gedruckt]

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    Karlsruhe: Kernforschungszentrum KArlsruhe, 1992 ; Online-Ausgabe, Karlsruhe: KIT-Bibliothek, 2015

    Erschienen in: Kernforschungszentrum Karlsruhe: Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 5088

  14. Kowanz, Bernd [Verfasser:in]; Ehrfeld, Wolfgang [Verfasser:in]

    Systemtechnische Analyse und Entwicklung eines Mikroventils in LIGA-Technik

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    Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2019] ; 1991

    Erschienen in: Kernforschungszentrum Karlsruhe: Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 4886

  16. Solf, Christian [Verfasser:in] ; Institut für Mikrostrukturtechnik

    Entwicklung von miniaturisierten Fourier-Transformations-Spektrometern und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren = Development of miniaturised Fourier Transformation Spectrometers and their fabrication withe LIGA technology - [Als Manuskript gedruckt]

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    Karlsruhe: Forschungszentrum Karlsruhe, Februar 2004

    Erschienen in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 6964

  17. Ruther, Patrick [Verfasser:in]; Bacher, Walter [Verfasser:in]; Feit, Klaus [Verfasser:in]

    Entwicklung eines LIGA-Mikrosystems zur Messung mechanischer Eigenschaften von Mikroproben

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    Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2016]

    Erschienen in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5986

  18. Vollmer, Josef [Verfasser:in]; Hein, Herbert [Verfasser:in]

    Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung

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    Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2018] ; 1994

    Erschienen in: Kernforschungszentrum Karlsruhe: Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 5375

  20. Bürg, Bernhard [Verfasser:in]

    Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit beliebiger, ebener Oberflächengeometrie

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    Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2019] ; 1991

    Erschienen in: Kernforschungszentrum Karlsruhe: Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 4849