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Lobontiu, Nicolae [VerfasserIn]

Dynamics of microelectromechanical systems

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New York, NY: Springer, 2007

Erschienen in: Microsystems ; 17
Korvink, Jan G. [HerausgeberIn]

MEMS : a practical guide to design, analysis, and applications

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Norwich, NY: Andrew, 2006 ; Heidelberg: Springer, 2006

Erschienen in: Micro-electro-mechanical systems
Gad-el-Hak, Mohamed [HerausgeberIn]

The MEMS handbook - [2. ed.]

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Boca Raton, Fla.[u.a.]: CRC [u.a.], 20XX-

Erschienen in: Mechanical engineering series
Geßner, Thomas [HerausgeberIn] ; Mesago Messe Frankfurt, Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components 1 2007 Paris, European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems 1 2007 Paris

Smart Systems Integration 2007 : Paris, France, 27. - 28.03.2007 ; [1st European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components]

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Berlin; Offenbach: VDE-Verl., 2007
Maluf, Nadim [VerfasserIn]; Williams, Kirt [VerfasserIn]

An introduction to microelectromechanical systems engineering - [2. ed.]

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Boston, Mass. [u.a.]: Artech House, 2004

Erschienen in: Microelectromechanical systems series
Schmidt, Robert Munnig [VerfasserIn]; Schitter, Georg [VerfasserIn]; Eijk, Jan van [VerfasserIn]

The design of high performance mechatronics : high-tech functionality by multidisciplinary system integration

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Amsterdam: IOS Press, 2011 ; Delft: Delft Univ. Press, 2011
Liu, Chang [VerfasserIn] ; Mungurwadi, Vaishali B. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Foundations of MEMS - [2. ed., international ed.]

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Upper Saddle River [u.a.]: Prentice Hall [u.a.], c 2012

Erschienen in: Pearson international edition
Lee, Ki Bang [VerfasserIn]

Principles of microelectromechanical systems

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Hoboken, NJ: WILEY [u.a.], c 2011
Gianchandani, Yogesh B. [HerausgeberIn]; Tabata, Osamu [HerausgeberIn]; Zappe, Hans P. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Comprehensive microsystems

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Amsterdam; Heidelberg [u.a.]: Elsevier, 20XX-
Maluf, Nadim [VerfasserIn]

An introduction to microelectromechanical systems engineering

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Boston [u.a.]: Artech House, 2000

Erschienen in: Artech House microelectromechanical systems library
Setiono, Andi [VerfasserIn] ; Peiner, Erwin [AkademischeR BetreuerIn]; Kowalsky, Wolfgang [AkademischeR BetreuerIn] Technische Universität Braunschweig, Verlag Dr. Hut München

Parasitic-crosstalk elimination in electrothermal piezoresistive cantilever resonators for real-time frequency-tracking operation - [1. Auflage]

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München: Verlag Dr. Hut, 2021

Erschienen in: Elektrotechnik
Kieninger, Jochen [VerfasserIn]

Electrochemical methods for the micro- and nanoscale : theoretical essentials, instrumentation and methods for applications in MEMS and nanotechnology

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Berlin; Boston: De Gruyter, [2022]

Erschienen in: De Gruyter STEM
Tabata, Osamu [HerausgeberIn]; Tsuchiya, Toshiyuki [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Reliability of MEMS : [testing of materials and devices]

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Weinheim: Wiley-VCH, 2008

Erschienen in: Advanced micro & nanosystems ; 6
Geßner, Thomas [HerausgeberIn] ; Mesago Messe Frankfurt, European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components 4 2010 Como

Smart systems integration 2010 : 4th European Conference & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems - MEMS, MOEMS, ICs and Electronic Components, Como, Italy, 23 - 24 March 2010

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Berlin; Offenbach: VDE-Verl., 2010
Setter, Nava [HerausgeberIn]

Electroceramic-based mems : fabrication-technology and applications

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New York [u.a.]: Springer, 2005

Erschienen in: Electronic materials: science and technology ; 9
Lyshevski, Sergey Edward [VerfasserIn]

Nano- and micro-electromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering - [2. ed.]

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Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, 2005

Erschienen in: Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series ; 8
Freitag, Markus [VerfasserIn] ; Universitätsbibliothek Chemnitz

Untersuchung der Energiedissipationsprozesse mikromechanischer Systeme

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Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2020
Kubby, Joel A. [VerfasserIn]

A guide to hands-on MEMS design and prototyping - [1. publ.]

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Cambridge [u. a.]: Cambridge Univ. Press, 2011
Leondes, Cornelius T. [HerausgeberIn]

MEMS NEMS handbook : techniques and applications

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New York, NY: Springer, 20XX-
Tabeling, Patrick [VerfasserIn]

Introduction to microfluidics - [Repr.]

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Oxford [u.a.]: Oxford University Press, 2006

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