Skip to contents Büttgenbach, Stephanus [Author] Mikromechanik : Einführung in Technologie und Anwendungen - [2., durchges. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Stuttgart: Teubner, 1994 Published in: Teubner Studienbücher ; Angewandte Physik Büttgenbach, Stephanus [Author] Mikromechanik : Einführung in Technologie und Anwendungen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Stuttgart: Teubner, 1991 Published in: Teubner Studienbücher ; Angewandte Physik Thelemann, Torsten [Author] ; Thust, Heiko [Other]; Knedlik, Christian [Other]; Müller, Jens [Other] Die LTCC-Technologie als Basis von sensorischen, aktorischen und fluidischen Komponenten für Mikrosysteme Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Ilmenau: ISLE, 2006 Lyshevski, Sergey Edward [Author] Nano- and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boca Raton, FL: CRC Press, 2001 Published in: Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series Heuberger, Anton [Editor] Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie - [Unveränd. Nachdr. der 1. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 1991 Motamedi, M. Edward [Editor] MOEMS, Micro-opto-electro-mechanical systems Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Bellingham, Wash.: SPIE Press, 2005 Journal of micromechanics and microengineering : structures, devices and systems Journals / Newspapers / Series Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Bristol: IOP Publ., 1991- / 1.1991 - Published in: An Institute of Physics journal Axelrad, David R. [Author] Micromechanics of solids Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Amsterdam [u.a.]: Elsevier [u.a.], 1978 Maluf, Nadim [Author]; Williams, Kirt [Author] An introduction to microelectromechanical systems engineering - [2. ed.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boston, Mass. [u.a.]: Artech House, 2004 Published in: Microelectromechanical systems series Boussey, Jumana [Other] Microsystems technology : fabrication, test & reliability Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. London [u.a.]: Kogan Page Science, 2003 Schaible, Jochen [Author] Mikrotechnisch hergestellte Schaltventile für Gase Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 2001 Dvorak, George J. [Author]; Dvorak, George [Author] Micromechanics of composite materials Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Dordrecht; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2013 Published in: Solid mechanics and its applications ; 18600 Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau / 2004-2006, Abschlussbericht 1995 - 2006 Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Chemnitz: Tech. Univ., [2006] Published in: Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau ; 2006,2004-2006 Saxon Bibliography (Sächsische Bibliografie) Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau / 2001/2003 Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Chemnitz: Tech. Univ., 2003 Published in: Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau ; 2003,2001/2003 Saxon Bibliography (Sächsische Bibliografie) Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau / 1998/2000 Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Chemnitz: Tech. Univ., 2000 Published in: Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau ; 2000,1998/2000 Saxon Bibliography (Sächsische Bibliografie) Maluf, Nadim [Author] An introduction to microelectromechanical systems engineering Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boston [u.a.]: Artech House, 2000 Published in: Artech House microelectromechanical systems library Banse, Klaus-Dieter [Author] Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 1997 Bizerba-Werke Wilhelm Kraut Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren : Verbundprojekt 1989 - 1992; Abschlußbericht Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Teltow: VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik, 1994 Published in: Reihe: Innovationen in der Mikrosystemtechnik ; 7 Winde, Bertram [Author]; Heim, Joachim [Author] ; Grube, Rainer [Other] Technik en miniature : Stippvisite bei der Mikrotechnik - [1. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Leipzig; Jena; Berlin: Urania-Verl., 1988 Heuberger, Anton [Editor] Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden d. Halbleitertechnologie Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin; Heidelberg; New York; London; Paris; Tokyo: Springer, 1989
Büttgenbach, Stephanus [Author] Mikromechanik : Einführung in Technologie und Anwendungen - [2., durchges. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Stuttgart: Teubner, 1994 Published in: Teubner Studienbücher ; Angewandte Physik
Büttgenbach, Stephanus [Author] Mikromechanik : Einführung in Technologie und Anwendungen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Stuttgart: Teubner, 1991 Published in: Teubner Studienbücher ; Angewandte Physik
Thelemann, Torsten [Author] ; Thust, Heiko [Other]; Knedlik, Christian [Other]; Müller, Jens [Other] Die LTCC-Technologie als Basis von sensorischen, aktorischen und fluidischen Komponenten für Mikrosysteme Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Ilmenau: ISLE, 2006
Lyshevski, Sergey Edward [Author] Nano- and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boca Raton, FL: CRC Press, 2001 Published in: Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
Heuberger, Anton [Editor] Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie - [Unveränd. Nachdr. der 1. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 1991
Motamedi, M. Edward [Editor] MOEMS, Micro-opto-electro-mechanical systems Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Bellingham, Wash.: SPIE Press, 2005
Journal of micromechanics and microengineering : structures, devices and systems Journals / Newspapers / Series Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Bristol: IOP Publ., 1991- / 1.1991 - Published in: An Institute of Physics journal
Axelrad, David R. [Author] Micromechanics of solids Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Amsterdam [u.a.]: Elsevier [u.a.], 1978
Maluf, Nadim [Author]; Williams, Kirt [Author] An introduction to microelectromechanical systems engineering - [2. ed.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boston, Mass. [u.a.]: Artech House, 2004 Published in: Microelectromechanical systems series
Boussey, Jumana [Other] Microsystems technology : fabrication, test & reliability Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. London [u.a.]: Kogan Page Science, 2003
Schaible, Jochen [Author] Mikrotechnisch hergestellte Schaltventile für Gase Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 2001
Dvorak, George J. [Author]; Dvorak, George [Author] Micromechanics of composite materials Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Dordrecht; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2013 Published in: Solid mechanics and its applications ; 18600
Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau / 2004-2006, Abschlussbericht 1995 - 2006 Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Chemnitz: Tech. Univ., [2006] Published in: Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau ; 2006,2004-2006 Saxon Bibliography (Sächsische Bibliografie)
Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau / 2001/2003 Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Chemnitz: Tech. Univ., 2003 Published in: Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau ; 2003,2001/2003 Saxon Bibliography (Sächsische Bibliografie)
Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau / 1998/2000 Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Chemnitz: Tech. Univ., 2000 Published in: Arbeits- und Ergebnisbericht$eSonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" der Technischen Universität Chemnitz-Zwickau ; 2000,1998/2000 Saxon Bibliography (Sächsische Bibliografie)
Maluf, Nadim [Author] An introduction to microelectromechanical systems engineering Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boston [u.a.]: Artech House, 2000 Published in: Artech House microelectromechanical systems library
Banse, Klaus-Dieter [Author] Die Rolle der Halbleitertechnik für die Mikroproduktionstechnik Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 1997
Bizerba-Werke Wilhelm Kraut Einsatz der Mikromechanik zur Herstellung frequenzanaloger Sensoren : Verbundprojekt 1989 - 1992; Abschlußbericht Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Teltow: VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik, 1994 Published in: Reihe: Innovationen in der Mikrosystemtechnik ; 7
Winde, Bertram [Author]; Heim, Joachim [Author] ; Grube, Rainer [Other] Technik en miniature : Stippvisite bei der Mikrotechnik - [1. Aufl.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Leipzig; Jena; Berlin: Urania-Verl., 1988
Heuberger, Anton [Editor] Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden d. Halbleitertechnologie Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin; Heidelberg; New York; London; Paris; Tokyo: Springer, 1989
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