Gesellschaft Feinwerktechnik (4)
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Hilleringmann, Ulrich (4)
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Tauber, Richard N. (3)
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Technische Universität Dresden (3)
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Technische Universität Ilmenau (3)
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Wolf, Stanley (3)
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Brewer, George R. (2)
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Einspruch, Norman G. (2)
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Friedrich, Hans (2)
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Helm, Manfred (2)
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IEEE Electron Devices Society (2)
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Kaschel, Mathias (2)
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Keller, Patrick (2)
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Mader, Hermann (2)
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Madou, Marc J. (2)
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Malachowski, Karl (2)
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Munding, Andreas (2)
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Rangelow, Ivo W. (2)
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Schulze, Jörg (2)
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Technische Universität Chemnitz (2)
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Technische Universität Dresden Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (2)
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VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik (2)
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Widmann, Dietrich (2)
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Wutzler, Rene (2)
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Advanced Mask Technology Center (1)
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Ahlers, Jan (1)
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Andricacos, Panos C. (1)
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Antonietti, Markus (1)
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Archut, Andreas (1)
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Arnold, Heinrich (1)
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Bade, Thomas (1)
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Ballantyne, J. P. (1)
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Bargon, Joachim (1)
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Barsuhn, Horst E. (1)
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Bartelt, Hartmut (1)
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Beil, Axel (1)
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Beißner, Stefan (1)
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Bender, Markus (1)
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Benndorf, Jens (1)
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Bertz, Andreas (1)
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Biba, Josef (1)
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Bliedtner, Jens (1)
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Bott, Sascha (1)
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Brinkmeyer, Ernst (1)
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Brose, Sascha Manuel (1)
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Cobry, Keith (1)
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Cui, Zheng (1)
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Dai, Weizhong (1)
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Dallorto, Stefano (1)
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Datta, Madhav (1)
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Dietzel, Andreas (1)
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Dream Chip Technologies GmbH (1)
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Dreyer, Christian (1)
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EUROMAT 8. 2003 Lausanne (1)
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Elshof, Johan E. ten (1)
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Fabmatics GmbH (1)
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Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile 10 1993 München (1)
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Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile 11 1994 München (1)
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Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile 12 1995 München (1)
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Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine (1)
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Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine 7 1990 München (1)
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Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine 8 1991 München (1)
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Fachtagung Maskentechnik für Mikrotechnik-Bausteine 9 1992 München (1)
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Federation of European Materials Societies (1)
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Feldmann, Marco (1)
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Fonds der Chemischen Industrie zur Förderung der Chemie und Biologischen Chemie (1)
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Franz, Gerhard (1)
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Fraunhofer-Einrichtung für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (1)
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Fraunhofer-Institut für Angewandte Polymerforschung Forschungsbereich Polymermaterialien und Composite (1)
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Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (1)
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (1)
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Freise, Ludwig (1)
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Ganzhorn, Karl E. (1)
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Gerlach, Gerald (1)
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Geßner, Thomas (1)
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Glaser, Wolfgang (1)
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Glendinning, William B. (1)
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Graf, Martin (1)
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Hansch, Walter (1)
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Hantzschmann, Karli (1)
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Heider, Hans Joachim (1)
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Heitmann, Johannes (1)
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Helbert, John N. (1)
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Horne, Douglas F. (1)
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Hübner, Klaus (1)
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Institute of Electrical and Electronics Engineers (1)
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International Solid State Circuits Conference 40 1993 San Francisco, Calif (1)
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International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology 1982 Neuenahr (1)
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Ito, Hiroshi (1)
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Jacob, Dirk (1)
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Jagodzinska, Jagoda (1)
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Jauernig, Uta (1)
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Kahle, Olaf (1)
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Kaltenpoth, Gisela (1)
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Kauffmann, Christopher (1)
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Kohl, Gerhard (1)
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Kolhep, Maximilian (1)
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Krämer, Heike (1)
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Kubitz, Friedbert (1)
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Kästner, Marcus (1)
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