Zum Inhalt springen Rai-Choudhury, P. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Pr., 19XX- ; London: Institution of Electrical Engineers, 19XX- Erschienen in: IEE materials and devices series ; .- SPIE Press monograph ; . Valiev, Kamilʹ A. [VerfasserIn] ; Rakov, Aleksandr V. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Fizičeskie osnovy submikronnoj litografii v mikroėlektronike Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Moskva: Radio i Svjazʹ, 1984 Varadan, Vijay K. [VerfasserIn]; Jiang, Xiaoning [VerfasserIn]; Varadan, Vasundara V. [VerfasserIn] Microstereolithography and other fabrication techniques for 3D MEMS Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Chichester; Weinheim [u.a.]: Wiley, 2001 Brewer, George R. [BearbeiterIn] Ėlektronno-lučevaja technologija v izgotovlenii mikroėlektronnych priborov Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Moskva: Radio i Svjazʹ, 1984 Brewer, George R. [HerausgeberIn]; Ballantyne, J. P. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Electron-beam technology in microelectronic fabrication Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY [u.a.]: Acad. Press, 1980 Cui, Zheng [VerfasserIn] Micro-nanofabrication : technologies and applications Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Beijing [u.a.]: Springer [u.a.], 2005 ; [Berlin, u.a.]: Springer, 2005 Wiest, Florian [VerfasserIn] Mikrosystemtechnische Realisierung von Induktivitäten Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2001 Erschienen in: Berichte aus der Elektrotechnik Tönnesen, Tore Lied [VerfasserIn] Mikromechanische Beschleunigungsschalter für Airbagsysteme - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 1999 Erschienen in: Berichte aus der Mikromechanik Landis, Stefan [HerausgeberIn] Nano-lithography Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Hoboken, NJ: Wiley, 2011 ; London: ISTE [u.a.], 2011 Beil, Axel [VerfasserIn] Fertigung von Mikro-Bauteilen mittels Stereolithographie - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 2002 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 617 Thiele, Simon [VerfasserIn] ; Universität Stuttgart Design, Simulation und Prozessoptimierung für das 3D-Laserdirektschreiben von Mikrooptiken Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Stuttgart: Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart, Juli 2019 Erschienen in: Universität Stuttgart: Berichte aus dem Institut für Technische Optik ; 98 Adams, Thomas M. [VerfasserIn]; Layton, Richard A. [VerfasserIn] Introductory MEMS : fabrication and applications Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2010 Madou, Marc J. [VerfasserIn] Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization - [2. ed.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, 2002 Hoche, Jens [VerfasserIn] Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2000 Erschienen in: Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 5 Madou, Marc J. [VerfasserIn] Fundamentals of microfabrication Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, 1997 Müller, Lutz [VerfasserIn] Polymere für in Abformtechnik hergestellte integriert-optische Lichtleiter - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 2000 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 57700 Nassar, Raja [HerausgeberIn]; Dai, Weizhong [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Modelling of microfabrication systems Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2003 Erschienen in: Microtechnology and MEMS- Physics and astronomy online library Usov, Denys [VerfasserIn] Switching of surface composition and morphology of binary polymer brushes Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. 2004 Cappella, Brunero [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Filler-reinforced elastomers scanning force microscopy Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2003 Erschienen in: Advances in polymer science ; 164 Bargon, Joachim [HerausgeberIn] ; International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology 1982 Neuenahr Methods and materials in microelectronic technology : [proc. of the Internat. Symp. on Methods and Materials in Microelectronic Technology,held Sept. 29 - Oct. 1, 1982 in Bad Neuenahr] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY [u.a.]: Plenum, 1984 Erschienen in: IBM research symposia series
Rai-Choudhury, P. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Pr., 19XX- ; London: Institution of Electrical Engineers, 19XX- Erschienen in: IEE materials and devices series ; .- SPIE Press monograph ; .
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Valiev, Kamilʹ A. [VerfasserIn] ; Rakov, Aleksandr V. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Fizičeskie osnovy submikronnoj litografii v mikroėlektronike Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Moskva: Radio i Svjazʹ, 1984
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Varadan, Vijay K. [VerfasserIn]; Jiang, Xiaoning [VerfasserIn]; Varadan, Vasundara V. [VerfasserIn] Microstereolithography and other fabrication techniques for 3D MEMS Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Chichester; Weinheim [u.a.]: Wiley, 2001
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Brewer, George R. [BearbeiterIn] Ėlektronno-lučevaja technologija v izgotovlenii mikroėlektronnych priborov Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Moskva: Radio i Svjazʹ, 1984
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Brewer, George R. [HerausgeberIn]; Ballantyne, J. P. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Electron-beam technology in microelectronic fabrication Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY [u.a.]: Acad. Press, 1980
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Cui, Zheng [VerfasserIn] Micro-nanofabrication : technologies and applications Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Beijing [u.a.]: Springer [u.a.], 2005 ; [Berlin, u.a.]: Springer, 2005
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Wiest, Florian [VerfasserIn] Mikrosystemtechnische Realisierung von Induktivitäten Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2001 Erschienen in: Berichte aus der Elektrotechnik
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Tönnesen, Tore Lied [VerfasserIn] Mikromechanische Beschleunigungsschalter für Airbagsysteme - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 1999 Erschienen in: Berichte aus der Mikromechanik
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Landis, Stefan [HerausgeberIn] Nano-lithography Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Hoboken, NJ: Wiley, 2011 ; London: ISTE [u.a.], 2011
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Beil, Axel [VerfasserIn] Fertigung von Mikro-Bauteilen mittels Stereolithographie - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 2002 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 617
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Thiele, Simon [VerfasserIn] ; Universität Stuttgart Design, Simulation und Prozessoptimierung für das 3D-Laserdirektschreiben von Mikrooptiken Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Stuttgart: Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart, Juli 2019 Erschienen in: Universität Stuttgart: Berichte aus dem Institut für Technische Optik ; 98
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Adams, Thomas M. [VerfasserIn]; Layton, Richard A. [VerfasserIn] Introductory MEMS : fabrication and applications Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2010
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Madou, Marc J. [VerfasserIn] Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization - [2. ed.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, 2002
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Hoche, Jens [VerfasserIn] Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2000 Erschienen in: Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 5
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Madou, Marc J. [VerfasserIn] Fundamentals of microfabrication Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, 1997
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Müller, Lutz [VerfasserIn] Polymere für in Abformtechnik hergestellte integriert-optische Lichtleiter - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 2000 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 57700
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Nassar, Raja [HerausgeberIn]; Dai, Weizhong [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Modelling of microfabrication systems Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2003 Erschienen in: Microtechnology and MEMS- Physics and astronomy online library
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Usov, Denys [VerfasserIn] Switching of surface composition and morphology of binary polymer brushes Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. 2004
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Cappella, Brunero [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Filler-reinforced elastomers scanning force microscopy Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2003 Erschienen in: Advances in polymer science ; 164
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Bargon, Joachim [HerausgeberIn] ; International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology 1982 Neuenahr Methods and materials in microelectronic technology : [proc. of the Internat. Symp. on Methods and Materials in Microelectronic Technology,held Sept. 29 - Oct. 1, 1982 in Bad Neuenahr] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY [u.a.]: Plenum, 1984 Erschienen in: IBM research symposia series
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> Verfügbarkeit Skip to next facet Freihand verfügbar (11) Wert ausschließen Magazinbestellung (9) Wert ausschließen Verfügbarkeit vor Ort erfragen (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Standort Skip to next facet Bereichsbibliothek DrePunct (17) Wert ausschließen Zentralbibliothek (3) Wert ausschließen Bestand der TU Dresden (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Rechte-/Nutzungshinweis Skip to next facet Urheberrechtsschutz (1) Wert ausschließen Namensnennung - Keine Bearbeitung (CC BY-ND) (1) Wert ausschließen Namensnennung - Weitergabe unter gleichen Bedingungen (CC BY-SA) (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Sprache Skip to next facet Englisch (25) Wert ausschließen Deutsch (19) Wert ausschließen Russisch (2) Wert ausschließen Französisch (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Fachgebiet Skip to next facet Technik (34) Wert ausschließen Physik (11) Wert ausschließen Chemie und Pharmazie (3) Wert ausschließen Allgemeine Naturwissenschaft (2) Wert ausschließen Biologie (1) Wert ausschließen Informatik (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Person/Institution Skip to next facet Brewer, George R. (2) Wert ausschließen Hoche, Jens (2) Wert ausschließen Madou, Marc J. (2) Wert ausschließen Technische Universität Ilmenau (2) Wert ausschließen Usov, Denys (2) Wert ausschließen Adams, Thomas M. (1) Wert ausschließen Advanced Mask Technology Center (1) Wert ausschließen Ballantyne, J. P. (1) Wert ausschließen Bargon, Joachim (1) Wert ausschließen Barth, Peter (1) Wert ausschließen Behrens, Arne (1) Wert ausschließen Beil, Axel (1) Wert ausschließen Bender, Markus (1) Wert ausschließen Bhagwat, Sagar (1) Wert ausschließen Böker, Alexander (1) Wert ausschließen Cappella, Brunero (1) Wert ausschließen Cui, Zheng (1) Wert ausschließen Czarske, Jürgen (1) Wert ausschließen Dai, Weizhong (1) Wert ausschließen Erdmann, Andreas (1) Wert ausschließen Friedrich-Schiller-Universität Jena (1) Wert ausschließen Fritz, Georg Stefan (1) Wert ausschließen Goralczyk, Andreas (1) Wert ausschließen Groves, Timothy (1) Wert ausschließen Hauk, Alois (1) Wert ausschließen Helmer, Dorothea (1) Wert ausschließen Hentschel, Martina (1) Wert ausschließen Heusinger, Martin (1) Wert ausschließen Hoffmann-Urlaub, Sarah (1) Wert ausschließen International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology 1982 Neuenahr (1) Wert ausschließen Jiang, Xiaoning (1) Wert ausschließen Karlsruher Institut für Technologie Institute for Microstructure Technology (1) Wert ausschließen Klitzing, Regine von (1) Wert ausschließen Koos, Christian (1) Wert ausschließen Kotz-Helmer, Frederik (1) Wert ausschließen Krebs, Hans-Ulrich (1) Wert ausschließen Landis, Stefan (1) Wert ausschließen Lauermann, Matthias (1) Wert ausschließen Layton, Richard A. (1) Wert ausschließen Lenk, Steve (1) Wert ausschließen Lienkamp, Karen (1) Wert ausschließen Liu, Xiyuan (1) Wert ausschließen Luitz, Manuel (1) Wert ausschließen Lunzer, Markus (1) Wert ausschließen Lützenkirchen-Hecht, Dirk (1) Wert ausschließen Mader, Markus (1) Wert ausschließen Maier, Pascal (1) Wert ausschließen Müller, Lutz (1) Wert ausschließen Nassar, Raja (1) Wert ausschließen Nilsen, Madeleine (1) Wert ausschließen Rai-Choudhury, P. (1) Wert ausschließen Rakov, Aleksandr V. (1) Wert ausschließen Rangelow, Ivo W. (1) Wert ausschließen Rapp, Bastian E. (1) Wert ausschließen Ravoo, Bart Jan (1) Wert ausschließen Richter, Claudia (1) Wert ausschließen Salditt, Tim (1) Wert ausschließen Schulz, M. (1) Wert ausschließen Seidemann, Volker (1) Wert ausschließen Sichler, Philipp (1) Wert ausschließen Sinzinger, Stefan (1) Wert ausschließen Strehle, Steffen (1) Wert ausschließen Thiele, Simon (1) Wert ausschließen Trappen, Mareike (1) Wert ausschließen Tönnesen, Tore Lied (1) Wert ausschließen Universität Potsdam (1) Wert ausschließen Universität Stuttgart (1) Wert ausschließen Universität Ulm (1) Wert ausschließen Valiev, Kamilʹ A. (1) Wert ausschließen Vanguard Photonics GmbH (1) Wert ausschließen Varadan, Vasundara V. (1) Wert ausschließen Varadan, Vijay K. (1) Wert ausschließen Warmbold, Andreas (1) Wert ausschließen Widyaya, Vania Tanda (1) Wert ausschließen Wiest, Florian (1) Wert ausschließen Xu, Yilin (1) Wert ausschließen Zeitner, Uwe Detlef (1) Wert ausschließen Zimmermann, Marc (1) Wert ausschließen ficonTEC Service GmbH (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Kollektion Skip to next facet Verbunddaten SWB (40) Wert ausschließen Lizenzfreie Online-Ressourcen (19) Wert ausschließen Diss online (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen