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Medientyp: Buch; Bibliografie Titel: Micro electro mechanical system design Beteiligte: Allen, James Jay [VerfasserIn]; Allen, James J. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Boca Raton, Fla.[u.a.]: Taylor & Francis, 2005 Erschienen in: Mechanical engineering ; 19200 Umfang: 465 S.; zahlr. Ill. und graph. Darst; 24 cm Sprache: Englisch ISBN: 9780824758240; 0824758242 RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: MEMS > Mikrosystemtechnik > Mikromechanik > Mikrosensor > Mikroaktor > Zuverlässigkeit Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben Weitere Bestandsnachweise 0 : Mechanical engineering