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  1. Büttgenbach, Stephanus [Herausgeber:in]; Burisch, Arne [Herausgeber:in]; Hesselbach, Jürgen [Herausgeber:in] ; Sonderforschungsbereich Konstruktion und Fertigung Aktiver Mikrosysteme Braunschweig

    Design and manufacturing of active microsystems

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    Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2011

    Erschienen in: Microtechnology and MEMS

  2. Dötzel, Wolfram [Verfasser:in]

    Mikrosystemtechnik - Wachstum ins Kleine

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    Leipzig: Verl. der Sächsischen Akad. der Wiss., 2006 ; Stuttgart; Leipzig: Hirzel [in Komm.], 2006

    Erschienen in: Sächsische Akademie der Wissenschaften zu Leipzig: Sitzungsberichte der Sächsischen Akademie der Wissenschaften zu Leipzig, Technikwissenschaftliche Klasse ; 201

  3. Pelesko, John A. [Verfasser:in]; Bernstein, David H. [Verfasser:in]

    Modeling MEMS and NEMS

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    Boca Raton, Fla. [u.a.]: Chapman & Hall/CRC, 2003

  4. Ehrfeld, Wolfgang [Herausgeber:in]; Bähr, Jochen [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Handbuch Mikrotechnik

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    München [u.a.]: Hanser, 2002