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Brauer, John R. [Verfasser:in]

Magnetic actuators and sensors

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Hoboken, NJ: Wiley-Interscience, 2006
Gerlach, Gerald [Herausgeber:in]; Lenk, Arno [Gefeierte:r]; Pfeifer, Günther [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Akustische und elektromechanische Systeme : Prof. Dr.-Ing. Arno Lenk zum 70. Geburtstag

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Dresden: w.e.b.-Univ.-Verl., 2000

Erschienen in: Dresdner Beiträge zur Sensorik ; 14
Busch-Vishniac, Ilene J. [Verfasser:in]

Electromechanical sensors and actuators

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New York; Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 1999

Erschienen in: Mechanical engineering series
Yurish, Sergey Y. [Herausgeber:in] ; Advanced Study Institute on Smart Sensors and MEMS 2003 Póvoa de Varzim

Smart sensors and MEMS : [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Smart Sensors and MEMS, Povoa de Varzim, Portugal, 8 - 19 September 2003

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Dordrecht [u.a.]: Kluwer Academic Publ., 2004

Erschienen in: NATO: NATO science series / 2 ; 18100
Gaura, Elena [Verfasser:in]; Newman, Robert [Verfasser:in]

Smart MEMS and Sensor Systems

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London: Imperial College Press, 2006
Kempe, Volker [Verfasser:in]

Inertial MEMS : principles and practice

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Cambridge [u.a.]: Cambridge Univ. Press, 2011
Kaajakari, Ville [Verfasser:in]

Practical MEMS

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Las Vegas, Nevada: Small Gear Publ., 2009
Baglio, Salvatore [Verfasser:in]; Castorina, Salvatore [Verfasser:in]; Savalli, Nicolò [Verfasser:in]

Scaling issues and design of MEMS

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Chichester [u.a.]: Wiley, 2007
Jakšić, Zoran [Verfasser:in]

Micro and nanophotonics for semiconductor infrared detectors : towards an ultimate uncooled device

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Cham; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2014
Tenholte, Dirk [Verfasser:in]

Ein MEMS Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip

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Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2009
Morgenthal, Guido [Verfasser:in]; Rau, Sebastian [Verfasser:in]; Nowack, Markus [Verfasser:in] ; Fraunhofer IRB-Verlag

Effizientes Bauwerksmonitoring mit MEMS-Neigungssensoren und Mikrocontrollern : Abschlussbericht

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Stuttgart: Fraunhofer IRB Verlag, [2019]

Erschienen in: Forschungsinitiative Zukunft Bau ; 3105
Hald, Axel [Verfasser:in] ; Technische Universität Dresden

Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikro-elektromechanischen Systemen - [Als Manuskript gedruckt]

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Düsseldorf: VDI Verlag GmbH, [2020] ; Dresden: Technische Universität Dresden, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design, [2020]

Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI / 20 ; 473
Varadan, Vijay K. [Verfasser:in]; Vinoy, K. J. [Verfasser:in]; Gopalakrishnan, S. [Verfasser:in] ; Vinoy, Kalarickaparambil Joseph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Smart material systems and MEMS : design and development methodologies

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Chichester [u.a.]: Wiley, 2006
Jha, A. R. [Verfasser:in]

MEMS and nanotechnology-based sensors and devices for communications, medical and aerospace applications

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Boca Raton; Fla. [u.a.]: CRC Press, 2008

Erschienen in: An Auerbach book
Krause, Martin [Verfasser:in]

Entwurf eines vollimplantierbaren Sensor-Aktor-Wandlerbausteins für die apparative Hörrehabilitation

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Dresden: TUDpress, Verl. der Wiss., 2013

Erschienen in: Studientexte zur Sprachkommunikation ; 70
Petri, Felix [Verfasser:in]

Modellbildung auf Geometrie- und Systemebene für Squeeze-Film-Dämpfung und Wärmeverlust in mikromechanischen Sensoren unter Berücksichtigung ausgedünnter Gase

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Aachen: Shaker, 2007

Erschienen in: Berichte aus der Mikromechanik
Schroedter, Richard [Verfasser:in] ; Technische Universität Dresden

Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb

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Dresden: Vogt, 2018

Erschienen in: Beiträge aus der Elektrotechnik
Brand, Oliver [Herausgeber:in]; Fedder, Gary K. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

CMOS-MEMS

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Weinheim: Wiley-VCH, 2005

Erschienen in: Advanced micro & nanosystems ; 2
Graf, Alexander [Verfasser:in]

Entwicklung eines miniaturisierten Ionenfilters und Detektors für die potentielle Anwendung in Ionenmobilitätsspektrometern

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2015
Arnold, Benjamin [Verfasser:in] ; Universitätsbibliothek Chemnitz

Entwurf, Aufbau und Charakterisierung eines mikromechanischen Gleichspannungswandlers

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Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2020

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