Zum Inhalt springen Elwenspoek, Miko [Verfasser:in]; Jansen, Henri V. [Verfasser:in] Silicon micromachining - [1. publ.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Cambridge [u.a.]: Cambridge University Press, 1998 Erschienen in: Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering ; 700 Kühnel, Wolfgang [Verfasser:in] Kapazitive Siliziummikrofone - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 1992 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 202 Friedrich, Thomas [Verfasser:in] Zuverlässigkeitsaspekte von polykristlinem Silizium und deren Einfluss auf die Funktion von Inertialsensoren Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. 2011 Erschienen in: Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM: Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik / W ; 2011,5 Lüdtke, Olaf [Verfasser:in] Laterale einkristalline Beschleunigungssensoren für den telemetrischen Betrieb in medizinischen und automobilen Anwendungen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2000 Erschienen in: Berichte aus der Mikromechanik Elbrecht, Lüder [Verfasser:in] Möglichkeiten und Grenzen der Silizium-Planartechnologie zur Herstellung mikromechanischer Sensoren und deren Verkapselung - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 1998 Erschienen in: Berichte aus der Mikromechanik Zhang, Junming [Verfasser:in] Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mikromechanischer Werkstoffe - [Als Ms. gedr.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 33800 Oda, Shunri [Herausgeber:in] Silicon nanoelectronics Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boca Raton, FL [u.a.]: Taylor & Francis, 2006 ; Boca Raton, FL: CRC Press, 2006 Morgenstern, Thomas [Verfasser:in] Mikrostrukturierung leitfähiger Polymere - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 1998 Erschienen in: Berichte aus der Werkstofftechnik Lindroos, Veikko [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Lindroos, Veikko K. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Handbook of silicon based MEMS materials and technologies - [1. ed.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Amsterdam; Heidelberg [u.a.]: Elsevier, 2010 Erschienen in: Micro & nano technologies series Sedky, Sherif [Verfasser:in] Post-processing techniques for integrated MEMS Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boston, Mass.; London: Artech House, c2006 Erschienen in: Artech House microelectromechanical systems series Wiemer, Maik [Verfasser:in]; Herziger, Kai [Verfasser:in]; Geßner, Thomas [Verfasser:in] Silizium-Waferbonden: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: Verl. für Schweißen und Verwandte Verfahren, DVS-Verl., 1998 Erschienen in: Deutscher Verband für Schweißen und Verwandte Verfahren: DVS-Berichte ; 19300 Iyer, Subramanian S. [Herausgeber:in]; Auberton-Hervé, Andre J. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] ; Institution of Electrical Engineers Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. London: Institution of Electrical Engineers, 2002 Erschienen in: Electronic Materials Information Service: EMIS processing series ; 1 Kopka, Peter [Verfasser:in] Optische Wellenleiterschaltungen und Mikrostrukturierung auf Silicium - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 2001 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 677 Maier-Schneider, Dieter [Verfasser:in] LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik: Bestimmung der elastischen Eigenschaften - [Als Ms. gedr] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 1995 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 183 Neumann, Niels [Verfasser:in] ; Technische Universität Dresden Microwave photonic applications - from chip level to system level Bücher Online ansehen Schließen > Zugang ... zum E-Book via Resolving-System Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Dresden: Jörg Vogt Verlag, 2020 Erschienen in: Beiträge aus der Elektrotechnik Knieling, Thomas [Verfasser:in] Mikrosystemtechnisch hergestellte Fabry-Pérot-Interferenzdisplays mit hydrophobisierten Bildpunktmembranen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2007 Erschienen in: Berichte aus der Mikrosystemtechnik Huff, Howard R. [Herausgeber:in] Into the nano era : Moore's law beyond planar silicon CMOS Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Berlin; Heidelberg: Springer, 2009 Erschienen in: Springer series in materials science ; 106 Xiao, Wei [Verfasser:in] Dynamische Ermüdungsuntersuchungen an mikromechanischen Polysiliziumstrukturen - [1. Aufl.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Berlin: Univ.-Verl. der TU, Univ.-Bibliothek, 2007 Lohfink, Annette [Verfasser:in] Untersuchung und Optimierung der akustischen Eigenschaften kapazitiver mikromechanischer Ultraschallwandler am Beispiel der medizinischen Diagnostik - [1. Aufl.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Berlin: Logos Verl., 2005 Sturm, André [Verfasser:in] Nanostrukturierte amorphe Si-Au-Legierungen : Struktur und atomare Korrelation - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 1993 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 31300
Elwenspoek, Miko [Verfasser:in]; Jansen, Henri V. [Verfasser:in] Silicon micromachining - [1. publ.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Cambridge [u.a.]: Cambridge University Press, 1998 Erschienen in: Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering ; 700
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Kühnel, Wolfgang [Verfasser:in] Kapazitive Siliziummikrofone - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 1992 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 202
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Friedrich, Thomas [Verfasser:in] Zuverlässigkeitsaspekte von polykristlinem Silizium und deren Einfluss auf die Funktion von Inertialsensoren Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. 2011 Erschienen in: Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM: Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik / W ; 2011,5
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Lüdtke, Olaf [Verfasser:in] Laterale einkristalline Beschleunigungssensoren für den telemetrischen Betrieb in medizinischen und automobilen Anwendungen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2000 Erschienen in: Berichte aus der Mikromechanik
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Elbrecht, Lüder [Verfasser:in] Möglichkeiten und Grenzen der Silizium-Planartechnologie zur Herstellung mikromechanischer Sensoren und deren Verkapselung - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 1998 Erschienen in: Berichte aus der Mikromechanik
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Zhang, Junming [Verfasser:in] Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mikromechanischer Werkstoffe - [Als Ms. gedr.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 33800
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Oda, Shunri [Herausgeber:in] Silicon nanoelectronics Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boca Raton, FL [u.a.]: Taylor & Francis, 2006 ; Boca Raton, FL: CRC Press, 2006
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Morgenstern, Thomas [Verfasser:in] Mikrostrukturierung leitfähiger Polymere - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 1998 Erschienen in: Berichte aus der Werkstofftechnik
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Lindroos, Veikko [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Lindroos, Veikko K. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Handbook of silicon based MEMS materials and technologies - [1. ed.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Amsterdam; Heidelberg [u.a.]: Elsevier, 2010 Erschienen in: Micro & nano technologies series
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Sedky, Sherif [Verfasser:in] Post-processing techniques for integrated MEMS Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boston, Mass.; London: Artech House, c2006 Erschienen in: Artech House microelectromechanical systems series
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Wiemer, Maik [Verfasser:in]; Herziger, Kai [Verfasser:in]; Geßner, Thomas [Verfasser:in] Silizium-Waferbonden: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: Verl. für Schweißen und Verwandte Verfahren, DVS-Verl., 1998 Erschienen in: Deutscher Verband für Schweißen und Verwandte Verfahren: DVS-Berichte ; 19300
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Iyer, Subramanian S. [Herausgeber:in]; Auberton-Hervé, Andre J. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] ; Institution of Electrical Engineers Silicon wafer bonding technology : for VLSI and MEMS applications Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. London: Institution of Electrical Engineers, 2002 Erschienen in: Electronic Materials Information Service: EMIS processing series ; 1
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Kopka, Peter [Verfasser:in] Optische Wellenleiterschaltungen und Mikrostrukturierung auf Silicium - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 2001 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 677
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Maier-Schneider, Dieter [Verfasser:in] LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik: Bestimmung der elastischen Eigenschaften - [Als Ms. gedr] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 1995 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 183
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Neumann, Niels [Verfasser:in] ; Technische Universität Dresden Microwave photonic applications - from chip level to system level Bücher Online ansehen Schließen > Zugang ... zum E-Book via Resolving-System Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Dresden: Jörg Vogt Verlag, 2020 Erschienen in: Beiträge aus der Elektrotechnik
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Knieling, Thomas [Verfasser:in] Mikrosystemtechnisch hergestellte Fabry-Pérot-Interferenzdisplays mit hydrophobisierten Bildpunktmembranen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2007 Erschienen in: Berichte aus der Mikrosystemtechnik
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Huff, Howard R. [Herausgeber:in] Into the nano era : Moore's law beyond planar silicon CMOS Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Berlin; Heidelberg: Springer, 2009 Erschienen in: Springer series in materials science ; 106
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Xiao, Wei [Verfasser:in] Dynamische Ermüdungsuntersuchungen an mikromechanischen Polysiliziumstrukturen - [1. Aufl.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Berlin: Univ.-Verl. der TU, Univ.-Bibliothek, 2007
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Lohfink, Annette [Verfasser:in] Untersuchung und Optimierung der akustischen Eigenschaften kapazitiver mikromechanischer Ultraschallwandler am Beispiel der medizinischen Diagnostik - [1. Aufl.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Berlin: Logos Verl., 2005
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Sturm, André [Verfasser:in] Nanostrukturierte amorphe Si-Au-Legierungen : Struktur und atomare Korrelation - [Als Ms. gedr.] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 1993 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 31300
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> Verfügbarkeit Skip to next facet Freihand verfügbar (16) Wert ausschließen Magazinbestellung (7) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Standort Skip to next facet Bereichsbibliothek DrePunct (18) Wert ausschließen Zentralbibliothek (4) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Rechte-/Nutzungshinweis Skip to next facet Namensnennung - Keine Bearbeitung (CC BY-ND) (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Zugangsstatus Skip to next facet Freier Zugang (19) Wert ausschließen Eingeschränkter Zugang (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Sprache Skip to next facet Deutsch (34) Wert ausschließen Englisch (8) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Fachgebiet Skip to next facet Technik (37) Wert ausschließen Physik (6) Wert ausschließen Chemie und Pharmazie (3) Wert ausschließen Medizin (2) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Person/Institution Skip to next facet Dauer, Stefan (3) Wert ausschließen Doll, Alexander (2) Wert ausschließen Hasch, Jürgen (2) Wert ausschließen Hiltmann, Kai (2) Wert ausschließen Lieder, Martin (2) Wert ausschließen Albert-Ludwigs-Universität Freiburg (1) Wert ausschließen Auberton-Hervé, Andre J. (1) Wert ausschließen Biber, Stephan (1) Wert ausschließen Buhrdorf, Andreas (1) Wert ausschließen Büttgenbach, Stephanus (1) Wert ausschließen Elbrecht, Lüder (1) Wert ausschließen Elwenspoek, Miko (1) Wert ausschließen Fakultät für Chemie und Pharmazie (1) Wert ausschließen Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (1) Wert ausschließen Frenzer, Gerald (1) Wert ausschließen Friedrich, Thomas (1) Wert ausschließen Geßner, Thomas (1) Wert ausschließen Glunz, Stefan (1) Wert ausschließen Groß, Frank (1) Wert ausschließen Herziger, Kai (1) Wert ausschließen Hiller, Karla (1) Wert ausschließen Huff, Howard R. (1) Wert ausschließen Institut für Photonik und Quantenelektronik Karlsruhe (1) Wert ausschließen Institution of Electrical Engineers (1) Wert ausschließen Iyer, Subramanian S. (1) Wert ausschließen Jansen, Henri V. (1) Wert ausschließen Knechtel, Roy (1) Wert ausschließen Knieling, Thomas (1) Wert ausschließen Koos, Christian (1) Wert ausschließen Kopka, Peter (1) Wert ausschließen Krossing, Ingo (1) Wert ausschließen Kühnel, Wolfgang (1) Wert ausschließen Lindroos, Veikko (1) Wert ausschließen Lindroos, Veikko K. (1) Wert ausschließen Lohfink, Annette (1) Wert ausschließen Lüdtke, Olaf (1) Wert ausschließen Maier-Schneider, Dieter (1) Wert ausschließen Morgenstern, Thomas (1) Wert ausschließen Neumann, Niels (1) Wert ausschließen Oda, Shunri (1) Wert ausschließen Schwarz, Patrick (1) Wert ausschließen Schön, Florian (1) Wert ausschließen Sedky, Sherif (1) Wert ausschließen Seidel, Helmut (1) Wert ausschließen Sepeur, Stefan (1) Wert ausschließen Sturm, André (1) Wert ausschließen Technische Universität Dresden (1) Wert ausschließen Trellenkamp, Stefan (1) Wert ausschließen Vincentz Network GmbH & Co. KG (1) Wert ausschließen Weinberger, Stefan (1) Wert ausschließen Wiemer, Maik (1) Wert ausschließen X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH (1) Wert ausschließen Xiao, Wei (1) Wert ausschließen Yazicioglu, Deniz (1) Wert ausschließen Zhang, Junming (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Kollektion Skip to next facet Verbunddaten SWB (32) Wert ausschließen Diss online (10) Wert ausschließen Lizenzfreie Online-Ressourcen (9) Wert ausschließen Abschlussarbeiten der TU Dresden (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen