Zum Inhalt springen Teuber, Silvio [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Wechselwirkung von Metall-clustern mit intensiven fs-Laserspulen Elektronische Ressourcen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. 2003 Hollein, Ingo; Teuber, Silvio; Bubke, Karsten Determination of mask induced polarization effects on AltPSM mask structures Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2005 Erschienen in: SPIE Proceedings (2005) Erdmann, Andreas; Graf, Thomas; Bubke, Karsten; Höllein, Ingo; Teuber, Silvio Mask defect printing mechanisms for future lithography generations Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2006 Erschienen in: SPIE Proceedings (2006) Cotte, Eric; Selle, Michael; Bubke, Karsten; Teuber, Silvio Study of stress birefringence for 193-nm immersion photomasks Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2005 Erschienen in: SPIE Proceedings (2005) Cotte, Eric; Alles, Benjamin; Wandel, Timo; Antesberger, Gunter; Teuber, Silvio; Vorwerk, Manuel; Frangen, Andreas; Katzwinkel, Frank 193-nm immersion photomask image placement in exposure tools Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2006 Erschienen in: SPIE Proceedings (2006) Teuber, Silvio; Duerr, Arndt C.; Herguth, Holger; Kunkel, Gerhard; Wandel, Timo; Zell, Thomas Influence of mask manufacturing process on printing behavior of angled line structures Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2006 Erschienen in: SPIE Proceedings (2006) Yang, Minghong; Leiterer, Jork; Gatto, Alexandre; Kaiser, Norbert; Höllein, Ingo; Teuber, Silvio; Bubke, Karsten VUV spectrophotometry for photomasks characterization at 193 nm Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2005 Erschienen in: SPIE Proceedings (2005) Teuber, Silvio; Higashikawa, Iwao; Urbach, Jan-Peter; Schilz, Christof M.; Koehle, Roderick; Zibold, Axel M. First results from AIMS beta tool for 157-nm lithography Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2004 Erschienen in: SPIE Proceedings (2004) Cotte, Eric P.; Haessler, Ruediger; Utess, Benno; Antesberger, Gunter; Kromer, Frank; Teuber, Silvio Pellicle choice for 193-nm immersion lithography photomasks Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2004 Erschienen in: SPIE Proceedings (2004) Yasui, Takashi; Higashikawa, Iwao; Kuschnerus, Peter; Degel, Wolfgang; Boehm, Klaus; Zibold, Axel M.; Kobiyama, Yuji; Urbach, Jan-Peter; Schilz, Christof M.; Teuber Semmler, Silvio Actinic aerial image measurement for qualification of defect on 157-nm photomask Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2004 Erschienen in: SPIE Proceedings (2004)
Teuber, Silvio [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Wechselwirkung von Metall-clustern mit intensiven fs-Laserspulen Elektronische Ressourcen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. 2003
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Hollein, Ingo; Teuber, Silvio; Bubke, Karsten Determination of mask induced polarization effects on AltPSM mask structures Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2005 Erschienen in: SPIE Proceedings (2005)
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Erdmann, Andreas; Graf, Thomas; Bubke, Karsten; Höllein, Ingo; Teuber, Silvio Mask defect printing mechanisms for future lithography generations Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2006 Erschienen in: SPIE Proceedings (2006)
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Cotte, Eric; Selle, Michael; Bubke, Karsten; Teuber, Silvio Study of stress birefringence for 193-nm immersion photomasks Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2005 Erschienen in: SPIE Proceedings (2005)
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Cotte, Eric; Alles, Benjamin; Wandel, Timo; Antesberger, Gunter; Teuber, Silvio; Vorwerk, Manuel; Frangen, Andreas; Katzwinkel, Frank 193-nm immersion photomask image placement in exposure tools Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2006 Erschienen in: SPIE Proceedings (2006)
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Teuber, Silvio; Duerr, Arndt C.; Herguth, Holger; Kunkel, Gerhard; Wandel, Timo; Zell, Thomas Influence of mask manufacturing process on printing behavior of angled line structures Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2006 Erschienen in: SPIE Proceedings (2006)
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Teuber, Silvio; Higashikawa, Iwao; Urbach, Jan-Peter; Schilz, Christof M.; Koehle, Roderick; Zibold, Axel M. First results from AIMS beta tool for 157-nm lithography Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2004 Erschienen in: SPIE Proceedings (2004)
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Yasui, Takashi; Higashikawa, Iwao; Kuschnerus, Peter; Degel, Wolfgang; Boehm, Klaus; Zibold, Axel M.; Kobiyama, Yuji; Urbach, Jan-Peter; Schilz, Christof M.; Teuber Semmler, Silvio Actinic aerial image measurement for qualification of defect on 157-nm photomask Konferenzberichte Online ansehen Schließen > Zugang Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. SPIE, 2004 Erschienen in: SPIE Proceedings (2004)
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> Medientyp Skip to next facet Konferenzberichte (9) Wert ausschließen Elektronische Ressourcen (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Verfügbarkeit Skip to next facet Verfügbarkeit vor Ort erfragen (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Standort Skip to next facet Zweigbibliothek Medizin (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Sprache Skip to next facet Nicht zu entscheiden (9) Wert ausschließen Deutsch (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Fachgebiet Skip to next facet Chemie und Pharmazie (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Person/Institution Skip to next facet Teuber, Silvio (9) Wert ausschließen Bubke, Karsten (4) Wert ausschließen Antesberger, Gunter (2) Wert ausschließen Cotte, Eric (2) Wert ausschließen Higashikawa, Iwao (2) Wert ausschließen Höllein, Ingo (2) Wert ausschließen Schilz, Christof M. (2) Wert ausschließen Urbach, Jan-Peter (2) Wert ausschließen Wandel, Timo (2) Wert ausschließen Zibold, Axel M. (2) Wert ausschließen Alles, Benjamin (1) Wert ausschließen Boehm, Klaus (1) Wert ausschließen Cotte, Eric P. (1) Wert ausschließen Degel, Wolfgang (1) Wert ausschließen Duerr, Arndt C. (1) Wert ausschließen Erdmann, Andreas (1) Wert ausschließen Frangen, Andreas (1) Wert ausschließen Gatto, Alexandre (1) Wert ausschließen Graf, Thomas (1) Wert ausschließen Haessler, Ruediger (1) Wert ausschließen Herguth, Holger (1) Wert ausschließen Hollein, Ingo (1) Wert ausschließen Kaiser, Norbert (1) Wert ausschließen Katzwinkel, Frank (1) Wert ausschließen Kobiyama, Yuji (1) Wert ausschließen Koehle, Roderick (1) Wert ausschließen Kromer, Frank (1) Wert ausschließen Kunkel, Gerhard (1) Wert ausschließen Kuschnerus, Peter (1) Wert ausschließen Leiterer, Jork (1) Wert ausschließen Selle, Michael (1) Wert ausschließen Teuber Semmler, Silvio (1) Wert ausschließen Utess, Benno (1) Wert ausschließen Vorwerk, Manuel (1) Wert ausschließen Yang, Minghong (1) Wert ausschließen Yasui, Takashi (1) Wert ausschließen Zell, Thomas (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Kollektion Skip to next facet SPIE (CrossRef) (9) Wert ausschließen Verbunddaten SWB (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen