Zum Inhalt springen Poll, Hans-Ullrich [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] ; Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente, Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Karl-Marx-Stadt: Techn. Hochsch., 1985 Erschienen in: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ; 1985,4 Manos, Dennis M. [Herausgeber:in]; Flamm, Daniel L. [Herausgeber:in] Plasma etching : an introduction Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boston [u.a.]: Acad. Pr. [u.a.], 1989 Erschienen in: Plasma ; materials interactions Wallschläger, Heinrich [Verfasser:in] Zur Thermodynamik bewegter Ränder und eine Anwendung zum Plasmaätzen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. 1986 Francombe, Maurice H. [Herausgeber:in] Plasma sources for thin film deposition and etching Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. San Diego [u.a.]: Acad. Press, 1994 Erschienen in: Physics of thin films ; 18 Hirsch, Jens [Verfasser:in] ; Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Halle (Saale): Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS, Juli 2018 López Alonso, Elena [Verfasser:in] Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen - [1. Aufl.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2014 Erschienen in: Berichte aus der Fertigungstechnik Hellriegel, Ronald [Verfasser:in] Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Norderstedt: Books on Demand, 2009 Reinicke, Marco [Verfasser:in] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Norderstedt: Books on Demand GmbH, 2009 Nositschka, Wolfgang Andreas [Verfasser:in] Plasmaätzverfahren für multikristalline Silizium Solarzellen : Grundlagen und Anwendungen industrienaher Prozessierung Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2003 Erschienen in: Berichte aus der Halbleitertechnik Markert, Matthias [Verfasser:in] Entwicklung und Charakterisierung eines Plasmaätzverfahrens zur Strukturierung von Kupferleitbahnsystemen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. 2001 Morgan, Russ A. [Verfasser:in] Plasma etching in semiconductor fabrication Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1985 Erschienen in: Plasma technology ; 1 Altmannshofer, Stephan [Verfasser:in] Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Stuttgart: Fraunhofer Verlag, [2019] Hoche, Jens [Verfasser:in] Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2000 Erschienen in: Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 5 Sugawara, Minoru [Verfasser:in] ; Stansfield, Barry L. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Plasma etching : fundamentals and applications Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Oxford [u.a.]: Oxford University Press, 1998 Erschienen in: Series on semiconductor science and technology ; 7 Bade, Thomas [Verfasser:in] Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa2Cu3O7 - [Als Ms. gedr.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 31500 Chapman, Brian [Verfasser:in]; Chapman, Brian N. [Verfasser:in] Glow discharge processes : sputtering and plasma etching Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1980 Erschienen in: A Wiley interscience publication Sankaran, R. Mohan [Herausgeber:in]; Sankaran, R. Mohan [Verfasser:in einer Einleitung] Plasma processing of nanomaterials - [First issued in paperback] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boca Raton; London; New York: CRC, 2017 Erschienen in: Nanomaterials and their applications Ahner, Nicole [Verfasser:in] Wetting optimized solutions for plasma etch residue removal for application in interconnect systems of integrated circuits Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Münster: Monsenstein und Vannerdat, 2013 ; Chemnitz: Univ.-Verl., 2013 Thompson, Larry F. [Herausgeber:in] Introduction to microlithography - [2. ed.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Washington, DC: American Chemical Soc., 1994 Erschienen in: ACS professional reference book Lieberman, Michael A. [Verfasser:in]; Lichtenberg, Allan J. [Verfasser:in] Principles of plasma discharges and materials processing Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1994 Erschienen in: A Wiley-Interscience publication
Poll, Hans-Ullrich [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] ; Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente, Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Karl-Marx-Stadt: Techn. Hochsch., 1985 Erschienen in: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ; 1985,4
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Manos, Dennis M. [Herausgeber:in]; Flamm, Daniel L. [Herausgeber:in] Plasma etching : an introduction Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boston [u.a.]: Acad. Pr. [u.a.], 1989 Erschienen in: Plasma ; materials interactions
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Wallschläger, Heinrich [Verfasser:in] Zur Thermodynamik bewegter Ränder und eine Anwendung zum Plasmaätzen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. 1986
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Francombe, Maurice H. [Herausgeber:in] Plasma sources for thin film deposition and etching Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. San Diego [u.a.]: Acad. Press, 1994 Erschienen in: Physics of thin films ; 18
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Hirsch, Jens [Verfasser:in] ; Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Halle (Saale): Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS, Juli 2018
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López Alonso, Elena [Verfasser:in] Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen - [1. Aufl.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2014 Erschienen in: Berichte aus der Fertigungstechnik
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Hellriegel, Ronald [Verfasser:in] Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Norderstedt: Books on Demand, 2009
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Reinicke, Marco [Verfasser:in] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Norderstedt: Books on Demand GmbH, 2009
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Nositschka, Wolfgang Andreas [Verfasser:in] Plasmaätzverfahren für multikristalline Silizium Solarzellen : Grundlagen und Anwendungen industrienaher Prozessierung Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2003 Erschienen in: Berichte aus der Halbleitertechnik
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Markert, Matthias [Verfasser:in] Entwicklung und Charakterisierung eines Plasmaätzverfahrens zur Strukturierung von Kupferleitbahnsystemen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. 2001
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Morgan, Russ A. [Verfasser:in] Plasma etching in semiconductor fabrication Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1985 Erschienen in: Plasma technology ; 1
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Altmannshofer, Stephan [Verfasser:in] Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Stuttgart: Fraunhofer Verlag, [2019]
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Hoche, Jens [Verfasser:in] Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Aachen: Shaker, 2000 Erschienen in: Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 5
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Sugawara, Minoru [Verfasser:in] ; Stansfield, Barry L. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Plasma etching : fundamentals and applications Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Oxford [u.a.]: Oxford University Press, 1998 Erschienen in: Series on semiconductor science and technology ; 7
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Bade, Thomas [Verfasser:in] Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa2Cu3O7 - [Als Ms. gedr.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 31500
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Chapman, Brian [Verfasser:in]; Chapman, Brian N. [Verfasser:in] Glow discharge processes : sputtering and plasma etching Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1980 Erschienen in: A Wiley interscience publication
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Sankaran, R. Mohan [Herausgeber:in]; Sankaran, R. Mohan [Verfasser:in einer Einleitung] Plasma processing of nanomaterials - [First issued in paperback] Bücher Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Boca Raton; London; New York: CRC, 2017 Erschienen in: Nanomaterials and their applications
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Ahner, Nicole [Verfasser:in] Wetting optimized solutions for plasma etch residue removal for application in interconnect systems of integrated circuits Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Münster: Monsenstein und Vannerdat, 2013 ; Chemnitz: Univ.-Verl., 2013
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Thompson, Larry F. [Herausgeber:in] Introduction to microlithography - [2. ed.] Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. Washington, DC: American Chemical Soc., 1994 Erschienen in: ACS professional reference book
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Lieberman, Michael A. [Verfasser:in]; Lichtenberg, Allan J. [Verfasser:in] Principles of plasma discharges and materials processing Bücher Online ansehen Schließen Schließen > Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1994 Erschienen in: A Wiley-Interscience publication
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> Medientyp Skip to next facet Bücher (86) Wert ausschließen Aufsätze (16) Wert ausschließen Hochschulschriften (2) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Verfügbarkeit Skip to next facet Freihand verfügbar (16) Wert ausschließen Magazinbestellung (15) Wert ausschließen Verfügbarkeit vor Ort erfragen (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Standort Skip to next facet Bereichsbibliothek DrePunct (21) Wert ausschließen Zentralbibliothek (11) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Rechte-/Nutzungshinweis Skip to next facet Namensnennung - Weitergabe unter gleichen Bedingungen (CC BY-SA) (2) Wert ausschließen Urheberrechtsschutz (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Zugangsstatus Skip to next facet Freier Zugang (47) Wert ausschließen Ohne Angabe (30) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Sprache Skip to next facet Englisch (65) Wert ausschließen Deutsch (40) Wert ausschließen Nicht zu entscheiden (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Fachgebiet Skip to next facet Technik (56) Wert ausschließen Physik (32) Wert ausschließen Chemie und Pharmazie (26) Wert ausschließen Medizin (3) Wert ausschließen Allgemeine Naturwissenschaft (1) Wert ausschließen Allgemeines (1) Wert ausschließen Informatik (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Person/Institution Skip to next facet SPIE (10) Wert ausschließen Friedrich, J. (9) Wert ausschließen Gähde, J. (6) Wert ausschließen Awakowicz, Peter (5) Wert ausschließen Eggert, L. (5) Wert ausschließen Abraham, W. (4) Wert ausschließen Engelmann, Sebastian U. (4) Wert ausschließen Lichtenberg, Allan J. (4) Wert ausschließen Mohanty, Nihar (4) Wert ausschließen Rangelow, Ivo W. (4) Wert ausschließen Sinzinger, Stefan (4) Wert ausschließen Technische Universität Ilmenau (4) Wert ausschließen Wise, Richard S. (4) Wert ausschließen Ahner, Nicole (3) Wert ausschließen Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (3) Wert ausschließen Franz, Gerhard (3) Wert ausschließen Lieberman, Michael A. (3) Wert ausschließen Strehle, Steffen (3) Wert ausschließen Technische Universität Chemnitz (3) Wert ausschließen Altamirano-Sánchez, Efrain (2) Wert ausschließen Bannister, Julie (2) Wert ausschließen Behrens, Arne (2) Wert ausschließen Brinkmann, Ralf Peter (2) Wert ausschließen Egetenmeyer, Ann-Kathrin (2) Wert ausschließen Geßner, Thomas (2) Wert ausschließen Hauguth, Maik (2) Wert ausschließen Hauser, Hubert (2) Wert ausschließen Hellriegel, Ronald (2) Wert ausschließen Hentschel, Martina (2) Wert ausschließen Hoche, Jens (2) Wert ausschließen Hoffmann, Martin (2) Wert ausschließen Kaiser, Norbert (2) Wert ausschließen Labelle, Catherine B. (2) Wert ausschließen Lin, Qinghuang (2) Wert ausschließen Linkohr, Stefanie (2) Wert ausschließen Pohl, M. (2) Wert ausschließen Reinicke, Marco (2) Wert ausschließen Rädlein, Edda (2) Wert ausschließen Saggau, Christian Niclaas (2) Wert ausschließen Schnabel, Hans-Dieter (2) Wert ausschließen Steiner, Cindy (2) Wert ausschließen Throl, U. (2) Wert ausschließen Weigel, Christoph (2) Wert ausschließen Wohlfart, Ellen (2) Wert ausschließen Zerbe, Volker (2) Wert ausschließen Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning Veranstaltung 2021 Online (1) Wert ausschließen Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning Veranstaltung 2022 San Jose, Calif.; Online (1) Wert ausschließen Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning Veranstaltung 2023 San Jose, Calif (1) Wert ausschließen Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning Veranstaltung 2024 San Jose, Calif (1) Wert ausschließen Advanced Etch Technology for Nanopatterning Veranstaltung 2020 San Jose, Calif (1) Wert ausschließen Advanced Etch Technology for Nanopatterning Veranstaltung 6. 2017 San Jose, Calif (1) Wert ausschließen Advanced Etch Technology for Nanopatterning Veranstaltung 7. 2018 San Jose, Calif (1) Wert ausschließen Advanced Etch Technology for Nanopatterning Veranstaltung 8. 2019 San Jose, Calif (1) Wert ausschließen Agert, Carsten (1) Wert ausschließen Altmannshofer, Stephan (1) Wert ausschließen Alzahar, Mostafa (1) Wert ausschließen Ambacher, Oliver (1) Wert ausschließen Bade, Thomas (1) Wert ausschließen Bertz, Andreas (1) Wert ausschließen Bimberg, Dieter (1) Wert ausschließen Braune, Andreas (1) Wert ausschließen Chapman, Brian (1) Wert ausschließen Chapman, Brian N. (1) Wert ausschließen Christen, Jürgen (1) Wert ausschließen Cimalla, Volker (1) Wert ausschließen D'Agostino, Riccardo (1) Wert ausschließen Dallorto, Stefano (1) Wert ausschließen Dani, Ines (1) Wert ausschließen Decker, Daniel (1) Wert ausschließen Donko, Zoltan (1) Wert ausschließen Eisenreich, Steffen (1) Wert ausschließen Fakultät für Physik und Astronomie (1) Wert ausschließen Fendler, Reinhard (1) Wert ausschließen Flamm, Daniel L. (1) Wert ausschließen Foest, Rüdiger (1) Wert ausschließen Fomin, Vladimir M. (1) Wert ausschließen Francombe, Maurice H. (1) Wert ausschließen Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik (1) Wert ausschließen Gaudig, Maria (1) Wert ausschließen Georgiev, Georgi Todorov (1) Wert ausschließen Gerhard, Franz (1) Wert ausschließen Giese, Christian (1) Wert ausschließen Hanff, R. (1) Wert ausschließen Hempelmann, Rolf (1) Wert ausschließen Hietschold, Michael (1) Wert ausschließen Hirsch, Jens (1) Wert ausschließen Hopfe, Volkmar (1) Wert ausschließen Hortenbach, Heiko (1) Wert ausschließen Ilmenau Media Services (1) Wert ausschließen Institut für Oberflächenmodifizierung (1) Wert ausschließen Ishchuk, Valentyn (1) Wert ausschließen Kasten, Anja (1) Wert ausschließen Keller, D. (1) Wert ausschließen Kersten, Holger (1) Wert ausschließen Keudell, Achim von (1) Wert ausschließen Klement, Peter (1) Wert ausschließen Knittel, Peter (1) Wert ausschließen Kodlaa, Adnan (1) Wert ausschließen Kohlstedt, Hermann (1) Wert ausschließen Krey, Karl-Friedrich (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen
> Kollektion Skip to next facet Verbunddaten SWB (59) Wert ausschließen Diss online (27) Wert ausschließen Lizenzfreie Online-Ressourcen (20) Wert ausschließen Wiley (CrossRef) (15) Wert ausschließen Abschlussarbeiten der TU Dresden (7) Wert ausschließen Qucosa (4) Wert ausschließen Springer Science and Business Media LLC (CrossRef) (1) Wert ausschließen zeige weitere weniger zeigen