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  1. Mathad, G. S. [HerausgeberIn] ; Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division, Electrochemical Society Electronics Division, Symposium on Plasma Processing 10 1994 San Francisco, Calif

    Proceedings of the Tenth Symposium on Plasma Processing : [held at San Francisco, CA, May 22 - 27, 1994]

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    Pennington, NJ: Electrochemical Society, 1994

    Erschienen in: Electrochemical Society: Proceedings volume ; 94,20

  5. Manos, Dennis M. [HerausgeberIn]; Flamm, Daniel L. [HerausgeberIn]

    Plasma etching : an introduction

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    Boston [u.a.]: Acad. Pr. [u.a.], 1989

    Erschienen in: Plasma ; materials interactions

  6. Eichhorn, Friedrich [HerausgeberIn] ; Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen Institut für Schweisstechnische Fertigungsverfahren, Kolloquium Physik und Technologie des Plasmastrahls in der Schweisstechnik 2 1971 Aachen

    Physik und Technologie des Plasmastrahls in der Schweißtechnik : Vorträge des II. Kolloquiums "Physik und Technologie des Plasmastrahls in der Schweißtechnik" in Aachen vom 14. bis 15. Oktober 1971

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    Düsseldorf: Dt. Verl. für Schweißtechnik, 1972

    Erschienen in: Deutscher Verband für Schweißtechnik: DVS-Berichte ; 23

  7. Eichhorn, Friedrich [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] ; Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen Institut für Schweisstechnische Fertigungsverfahren, Kolloquium Physik und Technologie des Plasmastrahls in der Schweisstechnik 1 1969 Aachen

    Der Plasmastrahl in der Schweißtechnik : Vorträge des Kolloquiums Physik und Technologie des Plasmastrahls in der Schweißtechnik in Aachen 1969

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    Düsseldorf: Deutscher Verlag f. Schweisstechnik, DVS, 1970

    Erschienen in: Deutscher Verband für Schweißtechnik: DVS-Berichte ; 14

  8. Sankaran, R. Mohan [HerausgeberIn]; Sankaran, R. Mohan [VerfasserIn einer Einleitung]

    Plasma processing of nanomaterials - [First issued in paperback]

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    Boca Raton; London; New York: CRC, 2017

    Erschienen in: Nanomaterials and their applications

  9. Lieberman, Michael A. [VerfasserIn]; Lichtenberg, Allan J. [VerfasserIn]

    Principles of plasma discharges and materials processing

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    New York, NY [u.a.]: Wiley, 1994

    Erschienen in: A Wiley-Interscience publication

  14. Cheung, Kin P. [VerfasserIn]

    Plasma charging damage

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    London; Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, c 2001

  18. Poll, Hans-Ullrich [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] ; Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente, Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente

    Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung

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    Karl-Marx-Stadt: Techn. Hochsch., 1985

    Erschienen in: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ; 1985,4