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VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik, Gesellschaft Feinwerktechnik, Fachtagung Maskentechnik für Mikrotechnik-Bausteine 9 1992 München

Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht ; Tagung München, 29. Oktober 1992

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1992

Published in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 1012
Behn, Friedrich [Author]

Vorgeschichtliches Maskenbrauchtum

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Berlin: Akad.-Verlag, 1955

Published in: Sächsische Akademie der Wissenschaften zu Leipzig: Berichte über die Verhandlungen der Sächsischen Akademie der Wissenschaften, Philologisch-Historische Klasse ; 10201
Behringer, Uwe [Editor] ; EMC 17 2000 München Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik

EMC 2000 : lectures held at the GMM conference, November 13 - 14, 2000 in Munich-Unterhaching, Germany

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Berlin; Offenbach: VDE-Verl., 2000

Published in: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 32
Behringer, Uwe [Editor] ; European Conference EMC on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components 16 1999 München, Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik

16th European Conference EMC on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components '99 : lectures held at the GMM conference, November 15 - 16, 1999 in Munich, Germany

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Berlin; Offenbach: VDE-Verl., 1999

Published in: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 30
Heekenjann, Peter B. [Author]

Anlagenentwicklung unter unsicheren Annahmen am Beispiel einer lasergestützten Präzisionsbearbeitungsstation - [Als Ms. gedr]

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1996

Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 37000
Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile 12 1995 München

Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile : Tagung München, 25. und 26. Oktober 1995

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1995

Published in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 1243
VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik, Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile 10 1993 München

Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile : Tagung München, 27. und 28. Oktober 1993

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1993

Published in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 1102
Ladd, David [Author]; Leibowitz, David E. [Author]; Joseph, Bruce G. [Author]

Protection for semiconductor chip masks in the United States : analysis of the Semiconductor chip protection act of 1984

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Weinheim; Deerfield Beach, Fl.: VCH, 1986

Published in: IIC / Studies ; 800
Gesellschaft Feinwerktechnik, Verein Deutscher Ingenieure, Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine

Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1985-1989 / Nachgewiesen 1984(1985) - 1989
Behringer, Uwe [Editor] ; Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components 15 1998 München

Mask technology for integrated circuits and micro-components '98 : lectures held at the GMM-conference, November 16 - 17, 1998 in Munich, Germany

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Berlin; Offenbach: VDE-Verl., 1998

Published in: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 25
Nositschka, Wolfgang Andreas [Author]

Plasmaätzverfahren für multikristalline Silizium Solarzellen : Grundlagen und Anwendungen industrienaher Prozessierung

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Aachen: Shaker, 2003

Published in: Berichte aus der Halbleitertechnik
Wais, Johannes Wolfgang [Author]

Mikrostrukturierung optischer Glasoberflächen mit Excimer-Laserstrahlung - [Als Ms. gedr]

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1998

Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 49200
Pipper, Jürgen [Author]

Ortsaufgelöste Funktionalisierung von Siliciumhydrid-Oberflächen mit photolithographischen Methoden

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2000
Eynon, Benjamin G. [Author]; Wu, Banqiu [Author] ; DePesa, Paul [Other]

Photomask fabrication technology : [fabrication processing methods, resolution enhancement techniques, quality control parameters, defect reduction]

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New York [u.a.]: McGraw-Hill, 2005

Published in: McGraw-Hill electronic engineering
Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile 11 1994 München

Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile : Tagung München, 19. und 20. Oktober 1994

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1994

Published in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 1172
Gesellschaft Feinwerktechnik, Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine 7 1990 München

Tagungsbericht Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 8. November 1990 - [nichtred. Ms.-Dr.]

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1990

Published in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 870
Elliott, David J. [Author]

Integrated circuit mask technology

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New York [u.a.]: McGraw-Hill, 1985
Rizvi, Syed [Editor]

Handbook of photomask manufacturing technology

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Boca Raton, Fla. [u.a.]: DTaylor & Francis [u.a.], 2005

Published in: A CRC Press book
Siebert, Andreas [Author] ; Physikalisch-Technische Bundesanstalt Abteilung Fertigungsmesstechnik

Verbesserte Positionsbestimmung von Strukturen auf Photomasken

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Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wiss., 1996

Published in: PTB-Bericht ; 24
Gesellschaft Feinwerktechnik, Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine 8 1991 München

Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht ; Tagung München, 14. November 1991

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Düsseldorf: VDI-Verl., 1991

Published in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 935

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