Skip to contents Wiemer, Maik [Author]; Herziger, Kai [Author]; Geßner, Thomas [Author] Silizium-Waferbonden: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: Verl. für Schweißen und Verwandte Verfahren, DVS-Verl., 1998 Published in: Deutscher Verband für Schweißen und Verwandte Verfahren: DVS-Berichte ; 19300 Möller, Hans-Joachim [Editor] ; Freiberger Forschungsforum 2 2000 Freiberg, Berg- und Hüttenmännischer Tag 51 2000 Freiberg Kristallisation und Technik : Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik ; Vorträge zum 51. Berg- und Hüttenmännischen Tag 2000 - [1. Aufl] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Freiberg: TU Bergakad., 2002 Published in: Freiberger Forschungshefte / B ; 321 Menz, Carsten [Author] Randzonenanalyse bearbeiteter Silizium-Oberflächen - [Als Ms. gedr.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1997 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 43100 Mack, Stefan [Author] Eine vergleichende Untersuchung der physikalisch-chemischen Prozesse an der Grenzschicht direkt und anodisch verbundener Festkörper Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1997 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 43600 Reinhardt, Karen A. [Editor]; Kern, Werner [Editor] Handbook of silicon wafer cleaning technology - [Third edition] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Oxford; Cambridge: William Andrew, [2018] Wietstruck, Matthias [Author] ; Universitätsbibliothek Chemnitz Through-silicon vias in SiGe BiCMOS and interposer technologies for sub-THz applications Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2023 López Alonso, Elena [Author] Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen - [1. Aufl.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2014 Published in: Berichte aus der Fertigungstechnik Schönfelder, Stephan [Author] Experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Festigkeit dünner Siliziumsubstrate Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Halle (Saale): Fraunhofer-Institutfür Werkstoffmechanik IWM, 2010 Published in: Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM: Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik / W ; 2010,5 Pähler, Dietmar [Author] Rotational grinding of silicon wafers - [1. ed.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Apprimus-Verl., 2010 Published in: Ergebnisse aus der Produktionstechnik ; 2010,11 Reinicke, Marco [Author] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norderstedt: Books on Demand GmbH, 2009 Hirschfeld, Botho [Author] Ein Beitrag zur zerstörungsfreien Beurteilung der Qualität der Verbindung beim Substratbonden Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2001 Published in: Berichte aus der Mikromechanik Hartmann, Matthias [Author] Stabstirn-Trennschleifen von einkristallinem Silizium - [Als Ms. gedr] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1997 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 42200 Holz, Bernhard Frank [Author] Oberflächenqualität und Randzonenbeeinflussung beim Planschleifen einkristalliner Siliciumscheiben Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. München [u.a.]: Hanser, 1994 Published in: Produktionstechnik Berlin ; 143 Reinhardt, Karen A. [Editor]; Kern, Werner [Other] Handbook of silicon wafer cleaning technology - [2. ed.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norwich, NY: William Andrew, 2008 Published in: Materials science & process technology series Lohfink, Annette [Author] Untersuchung und Optimierung der akustischen Eigenschaften kapazitiver mikromechanischer Ultraschallwandler am Beispiel der medizinischen Diagnostik - [1. Aufl.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin: Logos Verl., 2005 Lüdtke, Olaf [Author] Laterale einkristalline Beschleunigungssensoren für den telemetrischen Betrieb in medizinischen und automobilen Anwendungen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2000 Published in: Berichte aus der Mikromechanik Korallus, Jens [Author] Ortsaufgelöste Leckstrom-Messungen an der Silizium-Elektrolyt-Grenzfläche Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 2001 Lehnicke, Sabine [Author] Rotationsschleifen von Silizium-Wafern - [Als Ms. gedr.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 2000 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 53400 Gesang, Thomas [Author] Untersuchungen zu Filmbildung und Filmwachstum von Prepolymeren auf anorganischen Substraten - [Als Ms. gedr] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1996 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 3 ; 438 Zhang, Junming [Author] Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mikromechanischer Werkstoffe - [Als Ms. gedr.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 33800
Wiemer, Maik [Author]; Herziger, Kai [Author]; Geßner, Thomas [Author] Silizium-Waferbonden: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: Verl. für Schweißen und Verwandte Verfahren, DVS-Verl., 1998 Published in: Deutscher Verband für Schweißen und Verwandte Verfahren: DVS-Berichte ; 19300
Möller, Hans-Joachim [Editor] ; Freiberger Forschungsforum 2 2000 Freiberg, Berg- und Hüttenmännischer Tag 51 2000 Freiberg Kristallisation und Technik : Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik ; Vorträge zum 51. Berg- und Hüttenmännischen Tag 2000 - [1. Aufl] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Freiberg: TU Bergakad., 2002 Published in: Freiberger Forschungshefte / B ; 321
Menz, Carsten [Author] Randzonenanalyse bearbeiteter Silizium-Oberflächen - [Als Ms. gedr.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1997 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 43100
Mack, Stefan [Author] Eine vergleichende Untersuchung der physikalisch-chemischen Prozesse an der Grenzschicht direkt und anodisch verbundener Festkörper Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1997 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 43600
Reinhardt, Karen A. [Editor]; Kern, Werner [Editor] Handbook of silicon wafer cleaning technology - [Third edition] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Oxford; Cambridge: William Andrew, [2018]
Wietstruck, Matthias [Author] ; Universitätsbibliothek Chemnitz Through-silicon vias in SiGe BiCMOS and interposer technologies for sub-THz applications Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2023
López Alonso, Elena [Author] Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen - [1. Aufl.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2014 Published in: Berichte aus der Fertigungstechnik
Schönfelder, Stephan [Author] Experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Festigkeit dünner Siliziumsubstrate Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Halle (Saale): Fraunhofer-Institutfür Werkstoffmechanik IWM, 2010 Published in: Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM: Fraunhofer-Institut Werkstoffmechanik / W ; 2010,5
Pähler, Dietmar [Author] Rotational grinding of silicon wafers - [1. ed.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Apprimus-Verl., 2010 Published in: Ergebnisse aus der Produktionstechnik ; 2010,11
Reinicke, Marco [Author] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norderstedt: Books on Demand GmbH, 2009
Hirschfeld, Botho [Author] Ein Beitrag zur zerstörungsfreien Beurteilung der Qualität der Verbindung beim Substratbonden Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2001 Published in: Berichte aus der Mikromechanik
Hartmann, Matthias [Author] Stabstirn-Trennschleifen von einkristallinem Silizium - [Als Ms. gedr] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1997 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 42200
Holz, Bernhard Frank [Author] Oberflächenqualität und Randzonenbeeinflussung beim Planschleifen einkristalliner Siliciumscheiben Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. München [u.a.]: Hanser, 1994 Published in: Produktionstechnik Berlin ; 143
Reinhardt, Karen A. [Editor]; Kern, Werner [Other] Handbook of silicon wafer cleaning technology - [2. ed.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norwich, NY: William Andrew, 2008 Published in: Materials science & process technology series
Lohfink, Annette [Author] Untersuchung und Optimierung der akustischen Eigenschaften kapazitiver mikromechanischer Ultraschallwandler am Beispiel der medizinischen Diagnostik - [1. Aufl.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Berlin: Logos Verl., 2005
Lüdtke, Olaf [Author] Laterale einkristalline Beschleunigungssensoren für den telemetrischen Betrieb in medizinischen und automobilen Anwendungen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2000 Published in: Berichte aus der Mikromechanik
Korallus, Jens [Author] Ortsaufgelöste Leckstrom-Messungen an der Silizium-Elektrolyt-Grenzfläche Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 2001
Lehnicke, Sabine [Author] Rotationsschleifen von Silizium-Wafern - [Als Ms. gedr.] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 2000 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 53400
Gesang, Thomas [Author] Untersuchungen zu Filmbildung und Filmwachstum von Prepolymeren auf anorganischen Substraten - [Als Ms. gedr] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1996 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 3 ; 438
Zhang, Junming [Author] Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mikromechanischer Werkstoffe - [Als Ms. gedr.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 33800
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