Skip to contents Poll, Hans-Ullrich [Other] ; Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente, Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Karl-Marx-Stadt: Techn. Hochsch., 1985 Published in: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ; 1985,4 Manos, Dennis M. [Editor]; Flamm, Daniel L. [Editor] Plasma etching : an introduction Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boston [u.a.]: Acad. Pr. [u.a.], 1989 Published in: Plasma ; materials interactions Wallschläger, Heinrich [Author] Zur Thermodynamik bewegter Ränder und eine Anwendung zum Plasmaätzen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 1986 Francombe, Maurice H. [Editor] Plasma sources for thin film deposition and etching Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. San Diego [u.a.]: Acad. Press, 1994 Published in: Physics of thin films ; 18 Hirsch, Jens [Author] ; Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Halle (Saale): Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS, Juli 2018 López Alonso, Elena [Author] Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen - [1. Aufl.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2014 Published in: Berichte aus der Fertigungstechnik Hellriegel, Ronald [Author] Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norderstedt: Books on Demand, 2009 Reinicke, Marco [Author] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norderstedt: Books on Demand GmbH, 2009 Nositschka, Wolfgang Andreas [Author] Plasmaätzverfahren für multikristalline Silizium Solarzellen : Grundlagen und Anwendungen industrienaher Prozessierung Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2003 Published in: Berichte aus der Halbleitertechnik Markert, Matthias [Author] Entwicklung und Charakterisierung eines Plasmaätzverfahrens zur Strukturierung von Kupferleitbahnsystemen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 2001 Morgan, Russ A. [Author] Plasma etching in semiconductor fabrication Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1985 Published in: Plasma technology ; 1 Altmannshofer, Stephan [Author] Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Stuttgart: Fraunhofer Verlag, [2019] Hoche, Jens [Author] Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2000 Published in: Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 5 Sugawara, Minoru [Author] ; Stansfield, Barry L. [Other] Plasma etching : fundamentals and applications Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Oxford [u.a.]: Oxford University Press, 1998 Published in: Series on semiconductor science and technology ; 7 Bade, Thomas [Author] Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa2Cu3O7 - [Als Ms. gedr.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 31500 Chapman, Brian [Author]; Chapman, Brian N. [Author] Glow discharge processes : sputtering and plasma etching Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1980 Published in: A Wiley interscience publication Sankaran, R. Mohan [Editor]; Sankaran, R. Mohan [Writer of introduction] Plasma processing of nanomaterials - [First issued in paperback] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boca Raton; London; New York: CRC, 2017 Published in: Nanomaterials and their applications Ahner, Nicole [Author] Wetting optimized solutions for plasma etch residue removal for application in interconnect systems of integrated circuits Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Münster: Monsenstein und Vannerdat, 2013 ; Chemnitz: Univ.-Verl., 2013 Thompson, Larry F. [Editor] Introduction to microlithography - [2. ed.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Washington, DC: American Chemical Soc., 1994 Published in: ACS professional reference book Lieberman, Michael A. [Author]; Lichtenberg, Allan J. [Author] Principles of plasma discharges and materials processing Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1994 Published in: A Wiley-Interscience publication
Poll, Hans-Ullrich [Other] ; Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente, Technische Universität Karl-Marx-Stadt Sektion Physik/Elektronische Bauelemente Die Glimmentladung in perfluorierten Gasen zum Plasmaätzen und zur Schichtabscheidung Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Karl-Marx-Stadt: Techn. Hochsch., 1985 Published in: Technische Hochschule Karl-Marx-Stadt: Wissenschaftliche Schriftenreihe der Technischen Hochschule Karl-Marx-Stadt ; 1985,4
Manos, Dennis M. [Editor]; Flamm, Daniel L. [Editor] Plasma etching : an introduction Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boston [u.a.]: Acad. Pr. [u.a.], 1989 Published in: Plasma ; materials interactions
Wallschläger, Heinrich [Author] Zur Thermodynamik bewegter Ränder und eine Anwendung zum Plasmaätzen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 1986
Francombe, Maurice H. [Editor] Plasma sources for thin film deposition and etching Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. San Diego [u.a.]: Acad. Press, 1994 Published in: Physics of thin films ; 18
Hirsch, Jens [Author] ; Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Halle (Saale): Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS, Juli 2018
López Alonso, Elena [Author] Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen - [1. Aufl.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2014 Published in: Berichte aus der Fertigungstechnik
Hellriegel, Ronald [Author] Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norderstedt: Books on Demand, 2009
Reinicke, Marco [Author] Investigation of physical and chemical interactions during etching of silicon in dual frequency capacitively coupled HBr/NF3 gas discharges Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Norderstedt: Books on Demand GmbH, 2009
Nositschka, Wolfgang Andreas [Author] Plasmaätzverfahren für multikristalline Silizium Solarzellen : Grundlagen und Anwendungen industrienaher Prozessierung Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2003 Published in: Berichte aus der Halbleitertechnik
Markert, Matthias [Author] Entwicklung und Charakterisierung eines Plasmaätzverfahrens zur Strukturierung von Kupferleitbahnsystemen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. 2001
Morgan, Russ A. [Author] Plasma etching in semiconductor fabrication Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1985 Published in: Plasma technology ; 1
Altmannshofer, Stephan [Author] Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Stuttgart: Fraunhofer Verlag, [2019]
Hoche, Jens [Author] Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Aachen: Shaker, 2000 Published in: Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 5
Sugawara, Minoru [Author] ; Stansfield, Barry L. [Other] Plasma etching : fundamentals and applications Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Oxford [u.a.]: Oxford University Press, 1998 Published in: Series on semiconductor science and technology ; 7
Bade, Thomas [Author] Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa2Cu3O7 - [Als Ms. gedr.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 31500
Chapman, Brian [Author]; Chapman, Brian N. [Author] Glow discharge processes : sputtering and plasma etching Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1980 Published in: A Wiley interscience publication
Sankaran, R. Mohan [Editor]; Sankaran, R. Mohan [Writer of introduction] Plasma processing of nanomaterials - [First issued in paperback] Books Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Boca Raton; London; New York: CRC, 2017 Published in: Nanomaterials and their applications
Ahner, Nicole [Author] Wetting optimized solutions for plasma etch residue removal for application in interconnect systems of integrated circuits Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Münster: Monsenstein und Vannerdat, 2013 ; Chemnitz: Univ.-Verl., 2013
Thompson, Larry F. [Editor] Introduction to microlithography - [2. ed.] Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. Washington, DC: American Chemical Soc., 1994 Published in: ACS professional reference book
Lieberman, Michael A. [Author]; Lichtenberg, Allan J. [Author] Principles of plasma discharges and materials processing Books View online Schließen Close > Bookmarks You can manage bookmarks using lists, please log in to your user account for this. New York, NY [u.a.]: Wiley, 1994 Published in: A Wiley-Interscience publication
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